[實用新型]玻璃基板微觀檢查機

有效

• 申請號: 201720103400.4
• 申請日: 2017-01-23
• 公開（公告）號: CN206387743U
• 公開（公告）日: 2017-08-08
• 發明（設計）人: 鄧永松;丁力;劉磊;蔡杰;權永春
• 申請（專利權）人: 江蘇東旭億泰智能裝備有限公司;東旭光電科技股份有限公司
• 主分類號: G01N21/958
• 分類號: G01N21/958
• 代理公司: 北京英創嘉友知識產權代理事務所(普通合伙)11447
• 代理人: 陳慶超,桑傳標

1.一種玻璃基板微觀檢查機，包括光學顯微鏡(1)和驅動該光學顯微鏡沿垂直于玻璃基板(7)傳送方向的寬度方向移動的第一驅動裝置(2)，其特征在于，所述玻璃基板微觀檢測機還包括照明裝置(3)以及驅動所述照明裝置(3)隨所述光學顯微鏡(1)同步運動的第二驅動裝置(4)，其中所述光學顯微鏡與所述照明裝置(3)分別位于所述玻璃基板(7)的上下兩側，并且使得所述光學顯微鏡(1)的鏡頭(11)與所述照明裝置在所述玻璃基板(7)上的投光點沿豎直方向對齊設置。

2.根據權利要求1所述的玻璃基板微觀檢查機，其特征在于，所述照明裝置(3)沿豎直方向投光，所述照明裝置(3)沿豎直方向位于所述鏡頭(11)的正下方。

3.根據權利要求1所述的玻璃基板微觀檢查機，其特征在于，所述第二驅動裝置(4)包括伺服電機(41)和由該伺服電機驅動的同步帶電缸(42)，所述照明裝置安裝在沿所述寬度方向延伸的該同步帶電缸(42)上。

4.根據權利要求3所述的玻璃基板微觀檢查機，其特征在于，所述第一驅動裝置(2)包括伺服直線電機(21)，所述光學顯微鏡(1)可滑動地安裝在沿所述寬度方向延伸的第一橫梁(12)上，并通過所述伺服直線電機(21)驅動。

5.根據權利要求4所述的玻璃基板微觀檢查機，其特征在于，所述玻璃基板微觀檢查機還包括控制所述伺服直線電機(21)和所述伺服電機(41)同步工作的控制系統。

6.根據權利要求3所述的玻璃基板微觀檢查機，其特征在于，所述同步帶電缸(42)通過沿所述寬度方向間隔布置的多個支腿(43)支撐。

7.根據權利要求1-6中任意一項所述的玻璃基板微觀檢查機，其特征在于，所述玻璃基板由氣浮平臺(5)傳送，所述光學顯微鏡沿所述寬度方向在所述氣浮平臺的上方運動，所述照明裝置(3)沿所述寬度方向在所述氣浮平臺的下方運動，所述氣浮平臺上設置有沿所述寬度方向延伸的狹縫(51)，該狹縫(51)位于所述投光點的正下方。

8.根據權利要求1所述的玻璃基板微觀檢查機，其特征在于，所述照明裝置(3)包括安裝座(31)、燈箱(32)和透鏡(33)，所述安裝座(31)與所述第二驅動裝置(4)相連，所述燈箱安裝在所述安裝座(31)上方，所述透鏡(33)安裝在所述燈箱(32)的上方。

9.根據權利要求8所述的玻璃基板微觀檢查機，其特征在于，所述燈箱(32)和所述透鏡之間安裝有焦距調節機構(6)。

10.根據權利要求9所述的玻璃基板微觀檢查機，其特征在于，所述焦距調節機構包括調節電機(61)、主動輪(62)和焦距調節旋鈕(63)，所述調節電機安裝在所述燈箱的側壁并且輸出軸沿豎直方向向上延伸，所述主動輪安裝在所述輸出軸上并通過皮帶(64)與所述焦距調節旋鈕傳動相連，以通過該所述焦距調節旋鈕(63)的轉動調節所述透鏡(33)和所述燈箱(32)之間的距離。