[實用新型]激光加工裝置有效
| 申請號： | 201720102004.X | 申請日： | 2017-01-26 |
| 公開（公告）號： | CN206598017U | 公開（公告）日： | 2017-10-31 |
| 發明（設計）人： | 奧間惇治;長尾光洋;伊崎泰則 | 申請（專利權）人： | 浜松光子學株式會社 |
| 主分類號： | B23K26/064 | 分類號： | B23K26/064;B23K26/70 |
| 代理公司： | 北京尚誠知識產權代理有限公司11322 | 代理人： | 楊琦 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 激光 加工 裝置 | ||
1.一種激光加工裝置，其特征在于，
具備：
支撐部，其支撐加工對象物；
激光光源，其射出激光；
反射型空間光調制器，其調制并反射所述激光；
聚光光學系統，其使所述激光相對于所述加工對象物進行聚光；及
成像光學系統，其構成所述反射型空間光調制器的反射面和所述聚光光學系統的入射光瞳面處于成像關系的兩側遠心光學系統，
從所述反射型空間光調制器到達所述聚光光學系統的所述激光的光路中至少通過所述成像光學系統的所述激光的光路為一條直線，
所述兩側遠心光學系統的倍率M滿足0.5＜M＜1或1＜M＜2。
2.根據權利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，
所述成像光學系統包含所述反射型空間光調制器側的第一透鏡系統及所述聚光光學系統側的第二透鏡系統，
所述倍率M、所述第一透鏡系統的第一焦點距離f1及所述第二透鏡系統的第二焦點距離f2滿足M＝f2/f1。
3.根據權利要求1或2所述的激光加工裝置，其特征在于，
所述倍率M滿足0.6≦M≦0.95。
4.根據權利要求1或2所述的激光加工裝置，其特征在于，
所述倍率M滿足1.05≦M≦1.7。
5.根據權利要求2所述的激光加工裝置，其特征在于，
所述第一透鏡系統及所述第二透鏡系統被保持于支架，
所述支架恒定地維持沿著所述激光的光軸的方向上的所述第一透鏡系統及所述第二透鏡系統彼此的位置關系，
沿著所述激光的光軸的方向上的所述第一透鏡系統及所述第二透鏡系統的位置調整通過所述支架的位置調整來實施。
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