[實(shí)用新型]激光加工裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720101989.4
• 申請(qǐng)日: 2017-01-26
• 公開（公告）號(hào): CN206588483U
• 公開（公告）日: 2017-10-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 奧間惇治
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浜松光子學(xué)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): B23K26/064
• 分類號(hào): B23K26/064;B23K26/08;B23K26/70
• 代理公司: 北京尚誠知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11322
• 代理人: 楊琦,黃浩

1.一種激光加工裝置，其特征在于，

是通過沿著加工預(yù)定線對(duì)加工對(duì)象物照射激光而進(jìn)行加工對(duì)象物的激光加工的激光加工裝置，

具備：

支撐臺(tái)，支撐所述加工對(duì)象物；

激光光源，輸出所述激光；

聚光單元，包含用于使所述激光聚光于支撐于所述支撐臺(tái)的所述加工對(duì)象物的聚光透鏡；

移動(dòng)部，使所述支撐臺(tái)及所述聚光單元的至少一者沿著所述加工對(duì)象物的所述激光的入射面移動(dòng)，并使所述激光的聚光點(diǎn)沿著所述加工預(yù)定線相對(duì)移動(dòng)；

致動(dòng)器，用于沿著與所述入射面交叉的方向驅(qū)動(dòng)所述聚光單元；

位移傳感器，沿著所述加工預(yù)定線測(cè)定所述入射面的位移；

溫度傳感器，檢測(cè)所述聚光單元的溫度；以及

控制部，基于所述位移傳感器測(cè)定的所述入射面的位移和所述溫度傳感器檢測(cè)的所述聚光單元的溫度，算出所述致動(dòng)器產(chǎn)生的所述聚光單元的驅(qū)動(dòng)量，并且所述移動(dòng)部使所述聚光點(diǎn)相對(duì)移動(dòng)時(shí)，以對(duì)應(yīng)于所述驅(qū)動(dòng)量驅(qū)動(dòng)所述聚光單元的方式，控制所述致動(dòng)器。

2.如權(quán)利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，

所述控制部具有：

數(shù)據(jù)保存部，保存表示所述聚光單元的溫度和所述聚光透鏡的焦點(diǎn)位置的變動(dòng)量的關(guān)系的變動(dòng)量數(shù)據(jù)；

修正部，通過參照所述變動(dòng)量數(shù)據(jù)，取得與所述溫度傳感器檢測(cè)的所述聚光單元的溫度相應(yīng)的所述焦點(diǎn)位置的變動(dòng)量，并且基于所述變動(dòng)量修正所述位移傳感器測(cè)定的所述入射面的位移，由此，算出所述驅(qū)動(dòng)量；以及

驅(qū)動(dòng)控制部，以對(duì)應(yīng)于所述驅(qū)動(dòng)量驅(qū)動(dòng)所述聚光單元的方式控制所述致動(dòng)器。

3.如權(quán)利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，

所述位移傳感器通過在與所述激光光路不同的光路上向所述入射面入射測(cè)定光并且檢測(cè)所述測(cè)定光的反射光，來測(cè)定所述入射面的位移。

4.如權(quán)利要求2所述的激光加工裝置，其特征在于，

所述位移傳感器通過在與所述激光光路不同的光路上向所述入射面入射測(cè)定光并且檢測(cè)所述測(cè)定光的反射光，來測(cè)定所述入射面的位移。

5.如權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的激光加工裝置，其特征在于，

所述聚光單元包含保持所述聚光透鏡的筐體，

所述溫度傳感器安裝于所述筐體，作為所述聚光單元的溫度而檢測(cè)所述筐體的溫度。

6.如權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的激光加工裝置，其特征在于，

所述聚光單元包含保持所述聚光透鏡的筐體，

所述致動(dòng)器與所述筐體連接，

所述溫度傳感器安裝于所述致動(dòng)器，并作為所述聚光單元的溫度而檢測(cè)所述致動(dòng)器的溫度。

7.一種激光加工裝置，其特征在于，

是通過沿著加工預(yù)定線對(duì)加工對(duì)象物照射激光而進(jìn)行加工對(duì)象物的激光加工的激光加工裝置，

具備：

支撐臺(tái)，支撐所述加工對(duì)象物；

激光光源，輸出所述激光；

聚光單元，包含用于使所述激光聚光于支撐于所述支撐臺(tái)的所述加工對(duì)象物上的聚光透鏡；

移動(dòng)部，使所述支撐臺(tái)及所述聚光單元的至少一者沿著所述加工對(duì)象物的所述激光的入射面移動(dòng)，并使所述激光的聚光點(diǎn)沿著所述加工預(yù)定線相對(duì)移動(dòng)；

調(diào)整部，沿著與所述入射面交叉的方向調(diào)整所述聚光點(diǎn)的位置；

位移傳感器，沿著所述加工預(yù)定線測(cè)定所述入射面的位移；

溫度傳感器，檢測(cè)所述聚光單元的溫度；以及

控制部，基于所述位移傳感器測(cè)定的所述入射面的位移和所述溫度傳感器檢測(cè)的所述聚光單元的溫度，算出所述調(diào)整部中的調(diào)整量，并且所述移動(dòng)部使所述聚光點(diǎn)相對(duì)移動(dòng)時(shí)，以對(duì)應(yīng)于所述調(diào)整量調(diào)整所述聚光點(diǎn)的位置的方式，控制所述調(diào)整部。

8.如權(quán)利要求7所述的激光加工裝置，其特征在于，

所述控制部具有：

數(shù)據(jù)保存部，保存表示所述聚光單元的溫度和所述聚光透鏡的焦點(diǎn)位置的變動(dòng)量的關(guān)系的變動(dòng)量數(shù)據(jù)；

修正部，通過參照所述變動(dòng)量數(shù)據(jù)，取得與所述溫度傳感器檢測(cè)的所述聚光單元的溫度相應(yīng)的所述焦點(diǎn)位置的變動(dòng)量，并且基于所述變動(dòng)量修正所述位移傳感器測(cè)定的所述入射面的位移，由此，算出所述調(diào)整量；

調(diào)整控制部，以對(duì)應(yīng)于所述調(diào)整量調(diào)整所述聚光點(diǎn)的位置的方式控制所述調(diào)整部。