[實(shí)用新型]一種蝕刻液過濾凈化裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720093844.4
• 申請日: 2017-01-24
• 公開（公告）號: CN206463616U
• 公開（公告）日: 2017-09-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐剛;李瀚;周偉明;苑舉春;蔡國軍
• 申請（專利權(quán)）人: 惠州市鴻宇泰科技有限公司
• 主分類號: B01D36/00
• 分類號: B01D36/00;B01D35/02
• 代理公司: 廣州粵高專利商標(biāo)代理有限公司44102
• 代理人: 譚映華,羅志宏

1.一種蝕刻液過濾凈化裝置,其特征在于，包括用于生產(chǎn)蝕刻液的生產(chǎn)槽（1）、通過抽液管道與生產(chǎn)槽（1）連通的過濾泵（2）以及設(shè)置在生產(chǎn)槽（1）和過濾泵（2）之間的抽液管道上的過濾裝置（3），所述的過濾裝置（3）包括多個(gè)并聯(lián)連接的過濾器（31）；所述的過濾器（31）包括過濾底座（311）、與過濾底座相匹配的過濾蓋（312）以及設(shè)置在過濾底座上且位于過濾蓋內(nèi)的過濾芯（313）；所述的過濾底座（311）的底部設(shè)有供蝕刻液進(jìn)入過濾器內(nèi)進(jìn)行過濾的進(jìn)液孔（3111）和將經(jīng)過過濾器過濾后的蝕刻液排出過濾器的出液孔（3112）；所述的進(jìn)液孔（3111）與過濾芯（313）的進(jìn)液口的位置相對應(yīng)，所述的出液孔（3112）位于過濾芯（313）的外側(cè)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蝕刻液過濾凈化裝置,其特征在于，所述的生產(chǎn)槽（1）包括用于生產(chǎn)蝕刻液的攪拌槽（11）、設(shè)置在攪拌上用于攪拌攪拌槽內(nèi)的蝕刻液的攪拌器（12）以及設(shè)置在攪拌槽外用于盛放攪拌槽的安全防護(hù)收集槽（13）。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的蝕刻液過濾凈化裝置,其特征在于，所述的過濾底座（311）與過濾蓋（312）之間采用螺紋連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的蝕刻液過濾凈化裝置,其特征在于，所述的過濾蓋（312）為圓柱體結(jié)構(gòu)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的蝕刻液過濾凈化裝置,其特征在于，所述的過濾芯（313）為棉芯。

6.根據(jù)權(quán)利要求1～5任一項(xiàng)所述的蝕刻液過濾凈化裝置,其特征在于，設(shè)置在生產(chǎn)槽內(nèi)且與過濾裝置（3）連接的抽液管道從生產(chǎn)槽的上端面插入生產(chǎn)槽（1）內(nèi)并延伸至生產(chǎn)槽（1）的底部。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的蝕刻液過濾凈化裝置,其特征在于，插入生產(chǎn)槽底部的抽液管道的開口為楔形開口。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蝕刻液過濾凈化裝置,其特征在于，所述的過濾泵（2）與一蝕刻液輸出管連通。