[實用新型]光學加工系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720082440.5
• 申請日: 2017-01-20
• 公開（公告）號: CN206573851U
• 公開（公告）日: 2017-10-20
• 發(fā)明（設計）人: 李繼剛
• 申請（專利權）人: 李繼剛
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 寧波高新區(qū)核心力專利代理事務所(普通合伙)33273
• 代理人: 袁麗花

1.一種光學加工系統(tǒng)，其特征在于，包括沿光路方向依次設置的照明光源、空間光調制器、微透鏡陣列和成像透鏡，所述空間光調制器位于所述微透鏡陣列的前焦面，所述成像透鏡的前焦面與所述微透鏡陣列的后焦面重合，所述空間光調制器為振幅型，具有二維分布的多個圖塊，所述微透鏡陣列包括分布于同一平面內的多個微透鏡，每個所述微透鏡分別在主光軸方向上與一個所述圖塊對應。

2.根據權利要求1所述的光學加工系統(tǒng)，其特征在于：每個所述圖塊由單個或者多個像素組成，每個像素可獨立設置為開啟或關閉。

3.根據權利要求1所述的光學加工系統(tǒng)，其特征在于：所述成像透鏡為物方遠心成像鏡頭，其像方數值孔徑大于等于0.3。

4.根據權利要求1所述的光學加工系統(tǒng)，其特征在于：光路方向上還設置有前級鏡組，該前級鏡組設置于所述空間光調制器和微透鏡陣列之間，所述前級鏡組包括沿光路方向設置的第一透鏡和第二透鏡。

5.根據權利要求1或4所述的光學加工系統(tǒng)，其特征在于：光路方向上還設置有中繼鏡組，該中繼鏡組設置于微透鏡陣列和成像透鏡之間，所述中繼鏡組包括沿光路方向上依次設置的第三透鏡、第一半透半反分光反射鏡和第四透鏡。

6.根據權利要求5所述的光學加工系統(tǒng)，其特征在于：還包括聚焦檢測光路，該聚焦檢測光路包括光電探測器、第五透鏡、第六透鏡、檢測光源和第二半透半反分光反射鏡，所述光電探測器位于第五透鏡焦面，第五透鏡的焦點和成像透鏡的焦點處于共軛位置，檢測光源發(fā)出平行光，經過第二半透半反分光反射鏡、第六透鏡、第一半透半反分光反射鏡、第四透鏡和成像透鏡到達加工工件表面。

7.根據權利要求4所述的光學加工系統(tǒng)，其特征在于：還包括第七透鏡和切換裝置，在第一狀態(tài)，所述切換裝置帶動前級鏡組和微透鏡陣列整體移動至空間光調制器和成像透鏡之間的光路，在第二狀態(tài)，所述切換裝置帶動所述第七透鏡移動至空間光調制器和成像透鏡之間的光路，同時將前級鏡組和微透鏡陣列整體移出。