[實用新型]一種智能化在線稀釋校準儀

有效

• 申請號: 201720075269.5
• 申請日: 2017-01-19
• 公開（公告）號: CN206515125U
• 公開（公告）日: 2017-09-22
• 發明（設計）人: 楊任;王浩
• 申請（專利權）人: 常州磐諾儀器有限公司
• 主分類號: G01N1/38
• 分類號: G01N1/38;G01N1/34;G01N33/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種智能化在線稀釋校準儀，其特征在于：包括標氣系統(1，2，3，4，5，6，7，8，22，9，10，11，12，13，23，25，26)，稀釋氣系統(20，21，15，16，17)，稀釋管路控制系統(18，19，24)；其中所述標氣系統的標氣(1，2，3，4，5，6，7)和吹掃氣(8)并列排列，并依次經過連接的多通(22)，顆粒過濾器(25)，穩壓閥(9)，電磁三通閥(10)，旁路吹掃系統(12)，流量控制系統(11)，三通(26)，單向閥(13)，電磁三通閥(14)，吹掃氣放空口(23)；所述稀釋氣系統的第一稀釋氣(20)和第二稀釋氣(21)，經過第一質量流量計(15)和第二質量流量計(16)，經過電磁三通閥(17)至稀釋管路系統；所述稀釋管路控制系統的稀釋管路(18)，經管路解法(19)，經過最終稀釋氣出口(24)；所述電磁三通閥(14)連接所述稀釋管路控制系統。

2.如權利要求1所述的智能化在線稀釋校準儀，其特征是：所述標氣(1，2，3，4，5，6，7)，吹掃氣(8)分別接入多通(22)的其中八個口，多通(22)的第九個口接在顆粒過濾器(25)的入口，顆粒過濾器(25)的出口接穩壓閥(9)的入口，穩壓閥(9)出口接電磁三通閥(10)的COM口，電磁三通閥(10)的NC口接旁路吹掃系統(12)入口，電磁三通閥(10)的NO口接流量控制系統(11)入口，旁路吹掃系統(12)出口與流量控制系統(11)出口接三通(26)其中兩口，三通(26)第三個口接單向閥(13)入口，單向閥(13)出口接電磁三通閥(14)的COM口，電磁三通閥(14)的NC口接吹掃氣放空口(23)，電磁三通閥(14)的NO口接入稀釋管路控制系統。

3.如權利要求1所述的智能化在線稀釋校準儀，其特征是：所述稀釋氣系統的第一稀釋氣(20)接入第一質量流量計(15)入口，第一質量流量計(15)出口連接電磁三通閥(17)的NO口；稀釋氣系統的第二稀釋氣(21)接入第二質量流量計(16)入口，第二質量流量計(16)出口連接電磁三通閥(17)的NC口，電磁三通閥(17)的COM口接入稀釋管路控制系統。

4.如權利要求2或3所述的智能化在線稀釋校準儀，其特征是：電磁三通閥(17)的COM口與電磁三通閥(14)的NO口連接至稀釋氣管路系統，其中電磁三通閥(14)的NO口插入稀釋管路控制系統。

5.如權利要求1所述的智能化在線稀釋校準儀，其特征是：在某一稀釋比狀態下，在所述吹掃氣(8)打開，依次經過多通(22)，經過顆粒過濾器(25)，經過穩壓閥(9)，經過電磁三通閥(10)，經過吹旁路吹掃系統(12)，經過三通(26)，經過單向閥(13)，經過電磁三通閥(14)，經過吹掃氣放空口(23)。

6.如權利要求5所述的智能化在線稀釋校準儀，其特征是：所述標氣，依次經過多通(22)，經過顆粒過濾器(25)，經過穩壓閥(9)，經過電磁三通閥(10)，經過旁路吹掃系統(12)，經過三通(26)，經過單向閥(13)，經過電磁三通閥(14)，最終到達稀釋管路控制系統。

7.如權利要求3所述的智能化在線稀釋校準儀，其特征是：在稀釋比為1：999下，第一稀釋氣(20)依次經過接入第一質量流量計(15)，電磁三通閥(17)，稀釋管路(18)，稀釋氣出口(24)；在稀釋比為1000：9999下，第二稀釋氣(21)依次經過接入第二質量流量計(16)，電磁三通閥(17)，稀釋管路(18)，稀釋氣出口(24)。

8.如權利要求1所述的智能化在線稀釋校準儀，其特征是：所述標氣系統的流量控制系統(11)是內徑0.1mm，外徑1/16英寸不銹鋼管，旁路吹掃系統(12)是外徑1/8英寸，內徑2.8mmPFA管，質量流量計(15)是量程0-1L/min，質量流量計(16)是量程0-10L/min，稀釋管路(18)是外徑1/4英寸，內徑3.6mmPFA管。