[實用新型]表面噴砂處理裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720073403.8
• 申請日: 2017-01-21
• 公開（公告）號: CN206436146U
• 公開（公告）日: 2017-08-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黎靜;陳景升;田青林;湯方泉;張順
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇實為半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號: B24C9/00
• 分類號: B24C9/00;B24C7/00
• 代理公司: 徐州市淮海專利事務(wù)所32205
• 代理人: 華德明

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種表面處理裝置，特別是涉及一種表面噴砂處理裝置，屬于表面噴砂處理裝置技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

MOCVD是在氣相外延生長(VPE)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一種新型氣相外延生長技術(shù)，以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有機化合物和V、Ⅵ族元素的氫化物等作為晶體生長原材料，以熱分解反應(yīng)方式在襯底上進行氣相外延，生長各種Ⅲ-V族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半導(dǎo)體以及它們的多元固溶體的薄層單晶材料。而MOCVD中圈加熱絲對于薄層單晶材料的質(zhì)量具有重要的影響，因此，需要在使用前對中圈加熱絲進行表面噴砂處理。現(xiàn)有的表面處理裝置直接將砂子導(dǎo)入噴砂機中進行噴砂處理，由于砂子顆粒大小不均勻，造成中圈加熱絲的表面粗糙度不均勻，進而影響到薄層單晶材料的質(zhì)量；而且，往往無法對廢砂進行合理有效地回收處理利用，生產(chǎn)效率低、成本高。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決上述問題，本實用新型提供一種表面噴砂處理裝置，該裝置能夠?qū)崿F(xiàn)利用顆粒均勻的砂子對中圈加熱絲進行表面處理，且能夠?qū)U砂進行回收循環(huán)利用，既能提高中圈加熱絲的表面質(zhì)量，又能提高生產(chǎn)效率、節(jié)省人力及降低成本。

為了達到上述目的，本實用新型采用以下技術(shù)方案：一種表面噴砂處理裝置，包括真空吸砂機、振動篩、儲砂箱一、空氣壓縮機一、儲砂箱二、空氣壓縮機二和噴砂機，所述的真空吸砂機的吸砂管進口置于砂堆內(nèi)，真空吸砂機的儲砂罐的出砂口置于振動篩上方，儲砂罐的出砂口設(shè)有閥門一；所述的振動篩傾斜地設(shè)有粗、細兩層篩網(wǎng)，細篩網(wǎng)下端設(shè)有出料口二，出料口二端部置于儲砂箱一上方，出料口二端部設(shè)有閥門二；所述的儲砂箱一與空氣壓縮機一連通，儲砂箱一通過底部的上砂管與噴砂機內(nèi)的噴砂槍連通；所述的儲砂箱二放置于噴砂機出砂口的下方、其與空氣壓縮機二連通，儲砂箱二通過底部的回砂管與儲砂罐連通；所述的噴砂機的出砂口處設(shè)有閥門三；

進一步的，所述的振動篩細篩網(wǎng)的下方放置有廢砂箱；

進一步的，所述的振動篩粗篩網(wǎng)的下端設(shè)有螺旋式的出料口一，出料口一端部置于廢砂箱上方；

進一步的，所述的閥門一、閥門二和閥門三為電磁閥；

進一步的，所述的儲砂罐和噴砂機的下端為錐形，出砂口設(shè)在錐形的頂角處。

本實用新型通過真空吸砂機將砂堆中的砂子吸到儲砂罐中，通過振動篩對儲砂罐中流出的砂子進行篩分，濾除砂粒過大的砂子、雜質(zhì)及砂粒過小的砂子、粉塵，保留粒度均勻的、可用于噴砂的砂子，通過空氣壓縮機一將篩分出的、符合使用要求的砂子輸入到噴砂機內(nèi)的噴砂槍中進行噴砂，實現(xiàn)了利用顆粒均勻的砂子對MOCVD中圈加熱絲表面進行處理；通過空氣壓縮機二將噴砂后落下的砂子輸入到儲砂罐中進行循環(huán)利用。本實用新型既實現(xiàn)了提高中圈加熱絲的表面質(zhì)量，又實現(xiàn)了砂子的循環(huán)利用；有效地提高了生產(chǎn)效率，并節(jié)省人力、降低成本、保護環(huán)境。

附圖說明

圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1、吸砂管，2、儲砂罐，3、閥門一，4、振動篩，5、廢砂箱，6、出料口一，7、出料口二，8、閥門二，9、儲砂箱一，10、上砂管，11、空氣壓縮機一，12、回砂管，13、儲砂箱二，14、空氣壓縮機二，15、閥門三，16、噴砂機。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖對本實用新型作進一步說明。