[實用新型]表面噴砂處理裝置

有效

• 申請號: 201720073403.8
• 申請日: 2017-01-21
• 公開（公告）號: CN206436146U
• 公開（公告）日: 2017-08-25
• 發明（設計）人: 黎靜;陳景升;田青林;湯方泉;張順
• 申請（專利權）人: 江蘇實為半導體科技有限公司
• 主分類號: B24C9/00
• 分類號: B24C9/00;B24C7/00
• 代理公司: 徐州市淮海專利事務所32205
• 代理人: 華德明

技術領域

本實用新型涉及一種表面處理裝置，特別是涉及一種表面噴砂處理裝置，屬于表面噴砂處理裝置技術領域。

背景技術

MOCVD是在氣相外延生長(VPE)的基礎上發展起來的一種新型氣相外延生長技術，以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有機化合物和V、Ⅵ族元素的氫化物等作為晶體生長原材料，以熱分解反應方式在襯底上進行氣相外延，生長各種Ⅲ-V族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半導體以及它們的多元固溶體的薄層單晶材料。而MOCVD中圈加熱絲對于薄層單晶材料的質量具有重要的影響，因此，需要在使用前對中圈加熱絲進行表面噴砂處理。現有的表面處理裝置直接將砂子導入噴砂機中進行噴砂處理，由于砂子顆粒大小不均勻，造成中圈加熱絲的表面粗糙度不均勻，進而影響到薄層單晶材料的質量；而且，往往無法對廢砂進行合理有效地回收處理利用，生產效率低、成本高。

發明內容

為了解決上述問題，本實用新型提供一種表面噴砂處理裝置，該裝置能夠實現利用顆粒均勻的砂子對中圈加熱絲進行表面處理，且能夠對廢砂進行回收循環利用，既能提高中圈加熱絲的表面質量，又能提高生產效率、節省人力及降低成本。

為了達到上述目的，本實用新型采用以下技術方案：一種表面噴砂處理裝置，包括真空吸砂機、振動篩、儲砂箱一、空氣壓縮機一、儲砂箱二、空氣壓縮機二和噴砂機，所述的真空吸砂機的吸砂管進口置于砂堆內，真空吸砂機的儲砂罐的出砂口置于振動篩上方，儲砂罐的出砂口設有閥門一；所述的振動篩傾斜地設有粗、細兩層篩網，細篩網下端設有出料口二，出料口二端部置于儲砂箱一上方，出料口二端部設有閥門二；所述的儲砂箱一與空氣壓縮機一連通，儲砂箱一通過底部的上砂管與噴砂機內的噴砂槍連通；所述的儲砂箱二放置于噴砂機出砂口的下方、其與空氣壓縮機二連通，儲砂箱二通過底部的回砂管與儲砂罐連通；所述的噴砂機的出砂口處設有閥門三；

進一步的，所述的振動篩細篩網的下方放置有廢砂箱；

進一步的，所述的振動篩粗篩網的下端設有螺旋式的出料口一，出料口一端部置于廢砂箱上方；

進一步的，所述的閥門一、閥門二和閥門三為電磁閥；

進一步的，所述的儲砂罐和噴砂機的下端為錐形，出砂口設在錐形的頂角處。

本實用新型通過真空吸砂機將砂堆中的砂子吸到儲砂罐中，通過振動篩對儲砂罐中流出的砂子進行篩分，濾除砂粒過大的砂子、雜質及砂粒過小的砂子、粉塵，保留粒度均勻的、可用于噴砂的砂子，通過空氣壓縮機一將篩分出的、符合使用要求的砂子輸入到噴砂機內的噴砂槍中進行噴砂，實現了利用顆粒均勻的砂子對MOCVD中圈加熱絲表面進行處理；通過空氣壓縮機二將噴砂后落下的砂子輸入到儲砂罐中進行循環利用。本實用新型既實現了提高中圈加熱絲的表面質量，又實現了砂子的循環利用；有效地提高了生產效率，并節省人力、降低成本、保護環境。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖。

圖中：1、吸砂管，2、儲砂罐，3、閥門一，4、振動篩，5、廢砂箱，6、出料口一，7、出料口二，8、閥門二，9、儲砂箱一，10、上砂管，11、空氣壓縮機一，12、回砂管，13、儲砂箱二，14、空氣壓縮機二，15、閥門三，16、噴砂機。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型作進一步說明。