[實用新型]新型鍍膜治具有效
| 申請號： | 201720067267.1 | 申請日： | 2017-01-20 |
| 公開（公告）號： | CN207047311U | 公開（公告）日： | 2018-02-27 |
| 發明（設計）人： | 唐宏彬;馮巖;廖齊華;郭明興;周帥坤 | 申請（專利權）人： | 廈門三安光電有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/24 | 分類號： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 361100 福建省廈門市*** | 國省代碼： | 福建;35 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 新型 鍍膜 | ||
【權利要求書】：
1.新型鍍膜治具，包括火山口和遮板；火山口內盛放坩堝，坩堝盛放蒸鍍源后放置在火山口內，遮板在火山口之上，其特征在于：所述治具在火山口的上表面設置測量柱。
2.根據權利要求1所述的新型鍍膜治具，其特征在于：所述測量柱至少為三根。
3.根據權利要求1所述的新型鍍膜治具，其特征在于：所述測量柱呈三角形分布。
4.根據權利要求1所述的新型鍍膜治具，其特征在于：所述遮板為圓形。
5.根據權利要求4所述的新型鍍膜治具，其特征在于：所述測量柱與坩堝中心的水平距離為遮板的半徑。
6.根據權利要求1所述的新型鍍膜治具，其特征在于：所述測量柱具備上下移動的功能。
7.根據權利要求1所述的新型鍍膜治具，其特征在于：所述測量柱具備水平移動的功能。
8.根據權利要求1所述的新型鍍膜治具，其特征在于：所述測量柱具有刻度。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于廈門三安光電有限公司，未經廈門三安光電有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201720067267.1/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種高壓細胞培養箱
- 下一篇：可通過手動操作輔助機器人實現空間配準的系統
- 同類專利
- 專利分類
