[實(shí)用新型]晶圓單面拋光裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201720064901.6 | 申請(qǐng)日： | 2017-01-19 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN206464991U | 公開（公告）日： | 2017-09-05 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 韋榮 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 吉姆西半導(dǎo)體科技（無(wú)錫）有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B24B49/12 | 分類號(hào)： | B24B49/12;B24B49/02;B24B37/34;B24B41/06 |
| 代理公司： | 無(wú)錫市大為專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙)32104 | 代理人： | 曹祖良,屠志力 |
| 地址： | 214194 江蘇省無(wú)錫市*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 單面 拋光 裝置 | ||
1.一種晶圓單面拋光裝置，包括大盤(1)、拋光墊(2)、晶圓夾持裝置(3)、支撐裝置(4)、偵測(cè)桿(5)、影像傳感器(6)；
拋光墊(2)設(shè)置在大盤(1)的一個(gè)工作面；晶圓夾持裝置(3)設(shè)置在拋光墊(2)上方；晶圓夾持裝置(3)下端用于固定住晶圓；
偵測(cè)桿(5)設(shè)置在拋光墊(2)上方，影像傳感器(6)安裝在偵測(cè)桿(5)上并對(duì)準(zhǔn)拋光墊(2)；影像傳感器(6)的偵測(cè)范圍至少包括晶圓夾持裝置(3)內(nèi)側(cè)邊緣至晶圓夾持裝置(3)外側(cè)邊緣之間區(qū)域；
偵測(cè)桿(5)固定在支撐裝置(4)上，支撐裝置(4)位于大盤(1)和拋光墊(2)上方。
2.如權(quán)利要求1所述的晶圓單面拋光裝置，其特征在于，
晶圓夾持裝置(3)將晶圓壓在拋光墊(2)上，晶圓的一個(gè)待拋光面與拋光墊(2)接觸；大盤(1)在大盤驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)晶圓夾持裝置(3)帶動(dòng)晶圓轉(zhuǎn)動(dòng)；使得晶圓能夠相對(duì)拋光墊(2)圍繞晶圓中心自轉(zhuǎn)和圍繞拋光墊(2)中心公轉(zhuǎn)。
3.如權(quán)利要求1所述的晶圓單面拋光裝置，其特征在于，
支撐裝置(4)位于拋光墊(2)中央，偵測(cè)桿(5)為長(zhǎng)條形，從拋光墊(2)中心沿徑向向外側(cè)延伸。
4.如權(quán)利要求1所述的晶圓單面拋光裝置，其特征在于，
偵測(cè)桿(5)為環(huán)形，圍繞拋光墊(2)中心間隔設(shè)有一圈或數(shù)圈環(huán)形偵測(cè)桿(5)。
5.如權(quán)利要求1所述的晶圓單面拋光裝置，其特征在于，
偵測(cè)桿(5)上面有孔洞，影像傳感器(6)安裝在偵測(cè)桿(5)的孔洞處。
6.如權(quán)利要求1所述的晶圓單面拋光裝置，其特征在于，
影像傳感器(6)為圖像傳感器或紅外探測(cè)傳感器。
7.如權(quán)利要求1所述的晶圓單面拋光裝置，其特征在于，
晶圓夾持裝置(3)下端通過(guò)吸附或粘附方式固定住晶圓。
8.如權(quán)利要求1所述的晶圓單面拋光裝置，其特征在于，
晶圓夾持裝置(3)圍繞拋光墊(2)中心沿周向均布數(shù)個(gè)。
9.如權(quán)利要求1所述的晶圓單面拋光裝置，其特征在于，
在影像傳感器(6)之間還設(shè)有照明燈。
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