[實用新型]單晶爐用晶種夾具有效
| 申請號: | 201720061250.5 | 申請日: | 2017-01-18 |
| 公開(公告)號: | CN206418217U | 公開(公告)日: | 2017-08-18 |
| 發明(設計)人: | 林志高 | 申請(專利權)人: | 福建鑫磊晶體有限公司 |
| 主分類號: | C30B15/32 | 分類號: | C30B15/32;C30B29/06 |
| 代理公司: | 東莞市神州眾達專利商標事務所(普通合伙)44251 | 代理人: | 劉漢民 |
| 地址: | 352300 *** | 國省代碼: | 福建;35 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 單晶爐用晶種 夾具 | ||
技術領域
本實用新型涉及單晶爐領域,特別涉及單晶爐用晶種夾具。
背景技術
硅單晶作為一種半導體材料,主要用于光伏和半導體領域,大部分半導體硅單晶都是采用直拉法生產。直拉法是利用旋轉晶種從盛有硅熔體的坩堝中提拉制備單晶的一種方法,它是通過發熱體對承載固態多晶硅原料部分加熱,待其熔化完成,固液界面穩定后,將夾持器夾持的柱狀晶種浸入溶液,通過旋轉使熔體中的硅原子順著晶種硅原子結構進行有規則的排列,形成單晶體后緩慢提升,熔體中的硅原子沿著已經生長好的單晶體繼續結晶,并延續其規則的原子結構排列周而復始的生長,最后形成所需要的硅晶棒。
但是現有單晶爐的晶種夾具,結構復雜,安裝不方便,安裝效率低,所以需要設計一種新的晶種夾具來解決上述問題。
實用新型內容
本實用新型提出了單晶爐用晶種夾具,解決了現有單晶爐的晶種夾具,結構復雜,安裝不方便,安裝效率低的缺陷。
本實用新型的技術方案是這樣實現的:
單晶爐用晶種夾具,包括夾頭,夾頭上設置有與晶種形狀相對應的夾槽,夾槽慣穿夾頭的前后,夾槽內設置有固定凸起,夾頭外套有沿夾頭上下滑動的固定滑套,夾頭下端設置有限制固定滑套最低位置的限位裝置。
進一步,所述夾槽為矩形夾槽。
進一步,所述固定凸起為矩形凸起或弧形凸起。
進一步,所述限位裝置為向外凸起的限位塊。
進一步,所述夾頭上端還連接有連接桿。
本實用新型的有益效果:本實用新型主要由夾頭、夾槽和固定滑套組成,結構簡單;使用時,向上移固定滑套,然后將晶種放入夾槽,最后再入下固定滑套即可,操作簡單,效率高。
附圖說明
為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案,下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例,對于本領域普通技術人員來講,在不付出創造性勞動的前提下,還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。
圖1為本實用新型單晶爐用晶種夾具的結構示意圖。
具體實施方式
下面將結合本實用新型實施例中的附圖,對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例,而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例,本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本實用新型保護的范圍。
參照圖1,單晶爐用晶種夾具,包括夾頭1,夾頭1上設置有與晶種形狀相對應的夾槽2,夾槽2慣穿夾頭1的前后,夾槽2內設置有固定凸起3,夾頭1外套有沿夾頭1上下滑動的固定滑套4,夾頭1下端設置有限制固定滑套4最低位置的限位裝置5。
優選的,所述夾槽2為矩形夾槽。
優選的,所述固定凸起3為矩形凸起或弧形凸起。
優選的,所述限位裝置5為向外凸起的限位塊。
優選的,所述夾頭1上端還連接有連接桿6。
本實用新型主要由夾頭1、夾槽2和固定滑套4組成,結構簡單;使用時,向上移固定滑套4,然后將晶種放入夾槽2,最后再入下固定滑套4即可,操作簡單,效率高。
以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已,并不用以限制本實用新型,凡在本實用新型的精神和原則之內,所作的任何修改、等同替換、改進等,均應包含在本實用新型的保護范圍之內。
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