[實用新型]單晶爐智能監控裝置

有效

• 申請號: 201720061246.9
• 申請日: 2017-01-18
• 公開（公告）號: CN206408310U
• 公開（公告）日: 2017-08-15
• 發明（設計）人: 林志高
• 申請（專利權）人: 福建鑫磊晶體有限公司
• 主分類號: C30B15/20
• 分類號: C30B15/20;C30B29/06
• 代理公司: 東莞市神州眾達專利商標事務所(普通合伙)44251
• 代理人: 劉漢民

技術領域

本實用新型涉及單晶爐領域，特別涉及單晶爐智能監控裝置。

背景技術

21世紀，世界能源危機促進了光伏市場的發展，晶體硅太陽能電池是光伏行業的主導產品。隨著世界各國對太陽能光伏產業的進一步重視，特別是發達國家制定了一系列的扶持政策，鼓勵開發利用太陽能，另外，隨著硅太陽能電池應用面的不斷擴大，太陽能電池的需求量越來越大，硅單晶材料的需求量也就越來越大。

現有硅單晶主要采用單晶爐生產。單晶爐是一種在惰性氣體環境中，用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生長無錯位單晶的設備。

單晶直徑在生長過程中可受到溫度，提拉速度與轉速，坩堝跟蹤速度與轉速，保護氣體的流速等因素的影響。而一但溫度、提拉速度與轉速、坩堝跟蹤速度與轉速和保護氣體的流速發生變化，就會導致生產出來的產品不合格。而現在卻沒有監控上述各項數據的監控裝置。

實用新型內容

本實用新型提出了單晶爐智能監控裝置，解決了現有單晶爐沒有監控溫度、提拉速度與轉速、坩堝跟蹤速度與轉速及保護氣體流速裝置的缺陷。

本實用新型的技術方案是這樣實現的：

單晶爐智能監控裝置，包括控制器、報警器、提升軸轉速傳感器、坩堝頂升軸轉速傳感器、爐內溫度傳感器、爐外溫度傳感器、保護氣體流量計和保護氣體流速計，控制器分別與報警器、提升軸轉速傳感器、坩堝頂升軸轉速傳感器、爐內溫度傳感器、爐外溫度傳感器、保護氣體流量計和保護氣體流速計電性連接。

進一步，還包括出氣流量計，出氣流量計與所述控制器電性連接。

進一步，所述報警器包括警報燈和警報喇叭。

本實用新型的有益效果：本實用新型提升軸轉速傳感器能監測提升軸的轉速，并通過控制器換算成提升速度；坩堝頂升軸轉速傳感器能監測坩堝頂升軸的轉速，并通過控制器換算成頂升速度；爐內溫度傳感器和爐外溫度傳感器可以監測爐內和爐外壁的溫度；保護氣體流量計和保護氣體流速計分別監測保護氣體流量和流速；出氣流量計能監測排出氣體的流量；一旦上述幾個數據與控制預先輸入的數值不一樣，控制器會通過報警器發出聲光報警。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實用新型單晶爐智能監控裝置的結構框圖。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

參照圖1，單晶爐智能監控裝置，包括控制器1、報警器2、提升軸轉速傳感器3、坩堝頂升軸轉速傳感器4、爐內溫度傳感器5、爐外溫度傳感器6、保護氣體流量計7和保護氣體流速計8，控制器1分別與報警器2、提升軸轉速傳感器3、坩堝頂升軸轉速傳感器4、爐內溫度傳感器5、爐外溫度傳感器6、保護氣體流量計7和保護氣體流速計8電性連接。

優選的，還包括出氣流量計9，出氣流量計9與所述控制器1電性連接。

優選的，所述報警器2包括警報燈和警報喇叭。

本實用新型提升軸轉速傳感器3能監測提升軸的轉速，并通過控制器1換算成提升速度；坩堝頂升軸轉速傳感器4能監測坩堝頂升軸的轉速，并通過控制器1換算成頂升速度；爐內溫度傳感器5和爐外溫度傳感器6可以監測爐內和爐外壁的溫度；保護氣體流量計7和保護氣體流速計8分別監測保護氣體流量和流速；出氣流量計9能監測排出氣體的流量；一旦上述幾個數據與控制預先輸入的數值不一樣，控制器1會通過報警器2發出聲光報警。

以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。