[實用新型]一種非接觸式曝光機菲林安裝治具

有效

• 申請號: 201720057430.6
• 申請日: 2017-01-18
• 公開（公告）號: CN206573850U
• 公開（公告）日: 2017-10-20
• 發明（設計）人: 高延林;孫彬;王世杰
• 申請（專利權）人: 山東藍色電子科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 東營雙橋專利代理有限責任公司37107
• 代理人: 羅文遠

1.一種非接觸式曝光機菲林安裝治具，包括透明玻璃（1）和玻璃菲林（4），其特征在于，所述玻璃菲林（4）設置于透明玻璃（1）側，所述玻璃菲林（4）與透明玻璃（1）通過光學膠連接，所述玻璃菲林（4）內側頂部一側以及內側底部一側均設有吸氣槽（5），所述吸氣槽（5）外部設有真空吸嘴（6），所述吸氣槽（5）一側設有真空槽（7），所述玻璃菲林（4）外周設有曝光菲林（3），所述曝光菲林（3）外周設有透明膠帶（2），所述透明膠帶（2）粘貼固定曝光菲林（3）與透明玻璃（1）。

2.根據權利要求1所述的一種非接觸式曝光機菲林安裝治具，其特征在于：所述透明膠帶（2）設置為OPP膠帶。

3.根據權利要求1所述的一種非接觸式曝光機菲林安裝治具，其特征在于：所述透明膠帶（2）寬度設置為2cm-3cm。

4.根據權利要求1所述的一種非接觸式曝光機菲林安裝治具，其特征在于：所述真空吸嘴（6）設置為市售型號HB63的硅膠真空吸嘴。