[實用新型]一種抗干擾晶圓測試機外殼

有效

• 申請號: 201720056109.6
• 申請日: 2017-01-18
• 公開（公告）號: CN206431166U
• 公開（公告）日: 2017-08-22
• 發明（設計）人: 付關軍
• 申請（專利權）人: 深圳市德欣電器有限公司
• 主分類號: G01R1/04
• 分類號: G01R1/04;G01R31/26
• 代理公司: 北京同輝知識產權代理事務所(普通合伙)11357
• 代理人: 魏忠暉

技術領域

本實用新型屬于晶圓測試裝置技術領域，具體涉及一種抗干擾晶圓測試機外殼。

背景技術

芯片制造流程主要可分為IC設計、晶圓制程、晶圓測試及晶圓封裝四大步驟。在晶圓測試階段，通常是由測試機臺與探針卡共同構建一個測試環境，在此環境下測試晶圓上的晶片，以確保各個晶片的電氣特性與功能都符合設計的規格和規范。未能通過測試的晶片將會被標記為不良產品或者壞片，在其后的切割封裝階段將被剔除。只有通過測試的晶片才會被封裝為芯片。現有晶圓測試設備檢測效率低，不能同時進行多工位側視，且測試信號容易受到電壓的影響，電壓不穩定將會對測試信號產生震蕩，影響測試結果。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種抗干擾晶圓測試機外殼，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種抗干擾晶圓測試機外殼，包括本體外殼和測試機，所述本體外殼的內頂部固定連接于探針臺的上端，所述探針臺上安裝有探針卡，所述本體外殼內底部固定連接于支柱的底端，所述支柱固定連接于測試臺的下表面，所述測試臺的上表面通過負壓吸附固定有轉接板，所述轉接板上電性連接有待測晶圓，所述探針臺通過屏蔽信號線電性連接于測試機，所述測試機電性連接有顯示模塊。

優選的，所述測試機內設有穩壓電路，所述穩壓電路內包括LDO穩壓器。

優選的，所述測試臺的表面設有環形負壓吸附槽，所述負壓吸附槽相互連通，所述支柱內部設有負壓通道，所述負壓通道的頂部固定連接于負壓吸附槽，所述負壓通道的底部通過管道連接于負壓泵。

優選的，所述轉接板的底部固定連接有一層橡膠墊。

優選的，所述，所述轉接板上包括與待測晶圓上MOS管電性連接的印刷電路，所述印刷電路包括串聯和并聯電路，所述印刷電路設有測試電路接線端。

優選的，所述本體外殼為絕緣材料制成，且本體外殼的內部設有接地金屬屏蔽網。

本實用新型的技術效果和優點：該抗干擾晶圓測試機外殼，通過轉接板上的串聯和并聯電路可以對MOS產品進行多工位同時檢測，提高效率；通過LDO穩壓器電路，可以有效的對輸出電壓進行穩定，減小信號震蕩，有利于檢測結果的準確。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為本實用新型的轉接板結構示意圖；

圖3為本實用新型的測試臺結構示意圖。

圖中：1顯示模塊、2探針卡、3探針臺、4本體外殼、5轉接板、501測試電路接線端、6測試臺、601負壓吸附槽、7支柱、701負壓通道、8測試機、9待測晶圓、901 MOS管、10屏蔽信號線。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

本實用新型提供了如圖1-3所示的一種抗干擾晶圓測試機外殼，包括本體外殼4和測試機8，所述本體外殼4的內頂部固定連接于探針臺3的上端，所述探針臺3上安裝有探針卡2，所述本體外殼4內底部固定連接于支柱7的底端，所述支柱7固定連接于測試臺6的下表面，所述測試臺6的上表面通過負壓吸附固定有轉接板5，所述轉接板5上電性連接有待測晶圓9，所述探針臺3通過屏蔽信號線10電性連接于測試機8，所述測試機8電性連接有顯示模塊1。

進一步的，所述測試機8內設有穩壓電路，所述穩壓電路內包括LDO穩壓器，由于測試機8在高壓條件下對晶圓測試具有電壓不穩定性，不穩定的輸出電壓容易產生信號的震蕩，影響檢測結果，通過LDO穩壓器電路，可以有效的對輸出電壓進行穩定，減小信號震蕩，有利于檢測結果的準確。

進一步的，所述測試臺6的表面設有環形負壓吸附槽601，所述負壓吸附槽601相互連通，所述支柱7內部設有負壓通道701，所述負壓通道701的頂部固定連接于負壓吸附槽601，所述負壓通道701的底部通過管道連接于負壓泵，通過負壓泵在負壓吸附槽601內形成負壓，可以對轉接板5的底部進行固定，且不會對轉接板5上的電路形成磨損。

進一步的，所述轉接板5的底部固定連接有一層橡膠墊，通過橡膠墊，可以有效的與負壓吸附槽601的槽口相密合，提高固定效果。