[實用新型]一種干涉儀檢測面型的零件支撐機構

有效

• 申請號: 201720050840.8
• 申請日: 2017-01-16
• 公開（公告）號: CN206556582U
• 公開（公告）日: 2017-10-13
• 發明（設計）人: 胡天佐;王成秋;單明星
• 申請（專利權）人: 長春博信光電子有限公司
• 主分類號: G01B9/02
• 分類號: G01B9/02
• 代理公司: 北京市躍揚知識產權代理事務所(普通合伙)11559
• 代理人: 谷岳

技術領域

本實用新型涉及光學零件的面型檢測，具體涉及利用干涉儀進行面型檢測的零件支撐結構。

背景技術

干涉儀是以已知激光波長為基準，通過邁克耳遜干涉系統測量位移量的儀器，光學零件的檢測常常使用干涉儀對光學元件進行面型檢測，通常的干涉儀面型檢測分為立式和臥式兩類，臥式干涉儀雖然可以依托氣墊平臺延長測量范圍，但軌道高度一般不超過180毫米，因而不能完全覆蓋檢測零件的整個面型，未能檢測到的部分需要板測量和目測估算，這樣造成的結果誤差較大且樣板有損傷所述零件的風險。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是針對上述臥式干涉儀檢測零件面型不能完全覆蓋的問題，提出一種干涉儀檢測面型的零件支撐機構，包括臺架、支撐架、支撐臂、夾具，所述支撐架設置于所述臺架上，所述支撐臂設置于所述支撐架上并與所述支撐架連接，所述夾具設置于所述支撐架上，用以固定所述零件，所述夾具下部與所述支撐架活動連接，所述夾具上部與所述支撐臂活動連接，通過調整所述夾具的位置及角度，實現所述零件的全面檢測，操作簡單且能夠提高整體檢測的精度。

為了解決上述技術問題，本實用新型提供的技術方案為：

一種干涉儀檢測面型的零件支撐機構，包括臺架、支撐架、支撐臂、夾具，所述支撐架設置于所述臺架上，所述支撐臂設置于所述支撐架上并與所述支撐架連接，所述夾具設置于所述支撐架上，用以固定所述零件，所述夾具下部與所述支撐架活動連接，所述夾具上部與所述支撐臂活動連接。

所述夾具與所述支撐臂之間設置連桿，所述連桿一端與所述夾具活動連接，另一端與所述支撐臂活動連接，所述連桿上靠近所述支撐臂一端設置螺紋結構，所述支撐臂上設置與所述螺紋結構配合使用的螺紋孔。

所述夾具與所述支撐架之間設置旋轉副，實現所述夾具相對所述支撐架上下旋轉運動，并且所述夾具與所述支撐架之間設置旋轉副，實現所述夾具相對所述支撐架左右旋轉運動，所述夾具為可拆卸結構，根據不同尺寸的零件替換不同尺寸的夾具。

所述支撐架與所述臺架之間設置軌道，所述支撐架置于所述軌道上并沿所述軌道相對所述臺架移動，所述軌道為雙軌道結構，所述軌道與所述臺架之間設置升降結構，實現所述軌道相對所述臺架的升降運動。

本實用新型的有益效果為：

1.使用本實用新型干涉儀檢測面型的零件支撐機構，雙軌道結構，保證被檢測零件的穩定性，提高檢測精度；

2.使用本實用新型干涉儀檢測面型的零件支撐機構，通過上下以及左右調整夾具的位置和方向，實現零件的全面檢測，并且采用螺紋調整，提高調整精度；

3.使用本實用新型干涉儀檢測面型的零件支撐機構，夾具為可拆卸結構，通過不同尺寸的夾具可以實現不同尺寸零件的檢測，提高了機構的適應性。

附圖說明

圖1為傳統干涉儀檢測面型的零件支撐機構的結構示意圖；

圖2為本實用新型干涉儀檢測面型的零件支撐機構的結構示意圖。

具體實施方式

本實用新型公開了一種干涉儀檢測面型的零件支撐機構，本領域技術人員可以借鑒本文內容，適當改進工藝參數實現。需要特別指出的是，所有類似的替換和改動對本領域技術人員來說是顯而易見的，它們都被視為包括在本實用新型，并且相關人員明顯能在不脫離本實用新型內容、精神和范圍的基礎上對本文所述內容進行改動或適當變更與組合，來實現和應用本實用新型技術。

在本實用新型中，除非另有說明，否則本文中使用的科學和技術名詞具有本領域技術人員所通常理解的含義。

為了使本領域的技術人員更好地理解本實用新型的技術方案，下面結合具體實施例對本實用新型作進一步的詳細說明。

圖1為傳統的干涉儀檢測面型的零件支撐機構，包括臺架1、干涉儀2、支撐架3、軌道4、夾具5、零件6，所述干涉儀2、軌道4置于所述臺架1上，所述支撐架3置于所述軌道4上，所述夾具5置于所述支撐架3上，所述零件6置于所述夾具5上，由于上述零件支撐機構不能調整所述零件6或所述干涉儀2的位置及角度，因而只能夠實現所述零件6的部分面型檢測，無法全面檢測所述零件6的面型，未能通過所述干涉儀2檢測的部分需要樣板測量和目測估算，這樣造成的結果誤差較大且樣板有損傷所述零件6的風險。

為了解決傳統干涉儀檢測面型的上述問題，本實用新型提出了一種干涉儀檢測面型的零件支撐機構，具體結構如下：