[實用新型]一種安全可靠的磁控濺射儀

有效

• 申請號: 201720046518.8
• 申請日: 2017-01-16
• 公開（公告）號: CN206502856U
• 公開（公告）日: 2017-09-19
• 發明（設計）人: 侯則良
• 申請（專利權）人: 福建省諾希科技園發展有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 福州市鼓樓區鼎興專利代理事務所(普通合伙)35217
• 代理人: 劉建功

1.一種安全可靠的磁控濺射儀，包括濺射室、預處理室、磁力傳遞桿、機械泵、分子泵和冷卻水管，濺射室和處理室之設有閥板，預處理室和磁力傳遞桿相連，預處理室還與機械泵和分子泵相連，分子泵與冷卻水管相連，冷卻水管進水處設有水位檢測開關，其特征在于：所述水位檢測開關包括水位檢測模塊和繼電器，水位檢測模塊包括殼體，殼體內設有水管，水管上設有一受其內水壓可上下運動的活塞，活塞上端部設有一具有導電能力的頂針，頂針上方設有一具有導電能力的彈片，繼電器包括電磁線圈和常開端，頂針和彈片串接在繼電器的電磁線圈上，繼電器常開端串接在分子泵電源線的L線上。

2.根據權利要求1所述一種安全可靠的磁控濺射儀，其特征在于：所述殼體和活塞均為絕緣體。