[實用新型]一種變功率脈沖真空紫外光強度測量儀

有效

• 申請號: 201720045882.2
• 申請日: 2017-01-16
• 公開（公告）號: CN206410784U
• 公開（公告）日: 2017-08-15
• 發明（設計）人: 李欽明;楊家岳;丁洪利;陶凱;張未卿;楊學明
• 申請（專利權）人: 中國科學院大連化學物理研究所
• 主分類號: G01J1/42
• 分類號: G01J1/42
• 代理公司: 北京科迪生專利代理有限責任公司11251
• 代理人: 楊學明,顧煒

1.一種變功率脈沖真空紫外光強度測量儀，其特征在于：包括真空腔體(1)、金屬光強衰減裝置(2)、光電二極管基座(3)、光電二極管(4)、真空引線裝置(5)、直流穩壓電源(6)、測量電路單元(7)和示波器(8)，金屬光強衰減裝置(2)置于光電二極管(4)之前，光電二極管(4)安裝在光電二極管基座(3)上，金屬光強衰減裝置(2)、光電二極管基座(3)和光電二極管(4)置于真空腔體(1)中；用真空引線裝置(5)把光電二極管(4)兩個引腳信號引出真空腔體(1)外；兩個引腳信號接入測量電路單元(7)信號輸入端，直流穩壓電源(6)輸出接入測量電路單元(7)直流輸入端，測量電路單元(7)的信號輸出端接一示波器(8)。

2.根據權利要求1所述的一種變功率脈沖真空紫外光強度測量儀，其特征在于：金屬光強衰減裝置(2)包括金屬光強衰減片，通過改變金屬光強衰減片的組合來獲得不同的衰減系數，用來測量變功率脈沖真空紫外光。