[實(shí)用新型]一種制備鈷氧化物的裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720042714.8
• 申請(qǐng)日: 2017-01-16
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN206599610U
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-10-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 叢海輝;馬旭升
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 衢州崢嶸環(huán)保科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C16/40
• 分類(lèi)號(hào): C23C16/40;C23C16/448
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種制備鈷氧化物的裝置，包括蒸發(fā)室（1）、溶液罐（4）、氣體進(jìn)口，與所述蒸發(fā)室（1）連接的沉降室（2），以及與所述沉降室（2）相連接的三通管（15），其特征在于，還包括溫控儀（9）、冷肼（3），所述蒸發(fā)室（1）與溶液罐（4）通過(guò)脈沖噴咀（14）連接，所述蒸發(fā)室（1）與壓力表（11）通過(guò)壓力傳感器（12）連接，所述蒸發(fā)室（1）與所述氣體進(jìn)口通過(guò)流量計(jì)（5）連接，所述脈沖噴咀（14）與脈沖發(fā)生器（13）連接；

所述沉降室（2）內(nèi)設(shè)加熱臺(tái)（7），所述加熱臺(tái)（7）上放置襯底（6）；

所述蒸發(fā)室（1）外側(cè)包覆加熱帶（10），所述溫控儀（9）分別與所述加熱帶（10）連接，還與所述加熱臺(tái)（7）通過(guò)熱電偶連接；

所述三通管（15）一端放于所述冷肼（3）內(nèi)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種制備鈷氧化物的裝置，其特征在于，所述加熱臺(tái)（7）放于設(shè)在所述沉降室（2）的架子上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種制備鈷氧化物的裝置，其特征在于，所述流量計(jì)（5）為質(zhì)量流量計(jì)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種制備鈷氧化物的裝置，其特征在于，所述冷肼（3）為液氮冷肼。

5.據(jù)權(quán)利要求1所述的一種制備鈷氧化物的裝置，其特征在于，所述襯底（6）為不銹鋼網(wǎng)。