[實用新型]離子源

有效

• 申請號: 201720040857.5
• 申請日: 2017-01-13
• 公開（公告）號: CN206379326U
• 公開（公告）日: 2017-08-04
• 發明（設計）人: 粘俊能
• 申請（專利權）人: 粘俊能
• 主分類號: H01J37/08
• 分類號: H01J37/08
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司11006
• 代理人: 梁揮,尚群

1.一種離子源，其特征在于，包括：

一電弧室，包含有：

一外殼，包含有多個內壁，并具有一上開口及一供一摻雜源氣體通入該電弧室內的底進氣孔；多個內板，分別設置于該外殼的對應內壁上；

一萃取電極板，蓋合于該外殼的上開口，該萃取電極板中間形成有一第一萃取間隙；以及

一熱電子產生元件，電隔離地設置于該外殼的一側及對應該外殼一側的內板上；以及

一電源供應裝置，包含有：

一使該熱電子產生元件加熱至一預定溫度的加熱電源供應單元，耦接至該熱電子產生元件；以及

一產生20V至45V輸出電壓的低壓電弧電源供應單元，耦接至該多個內板及該熱電子產生元件。

2.如權利要求1所述的離子源，其特征在于，

該熱電子產生元件由外至內包含有一燈絲及一陰極，其中該燈絲與該陰極之間保持一間隔；

該加熱電源供應單元耦接至該燈絲，加熱燈絲至該預定溫度；

該電源供應裝置進一步包含有一偏流電源供應單元，該偏流電源供應單元的正、負電極分別耦接至該陰極及該燈絲；

該低壓電弧電源供應單元的正、負電極分別耦接至該多個內板及該陰極。

3.如權利要求1所述的離子源，其特征在于，

該熱電子產生元件包含一燈絲；

該加熱電源供應單元耦接至該燈絲，加熱燈絲至該預定溫度；

該低壓電弧電源供應單元的正、負電極分別耦接至該多個內板及該燈絲。

4.如權利要求1至3中任一項所述的離子源，其特征在于，進一步包含有：

一抑制電極板，間隔設置于該萃取電極板的一外側，并形成有一第二萃取間隙；其中該第二萃取間隙對準該萃取電極板的第一萃取間隙；以及

一接地電極板，間隔設置于該抑制電極板一外側，并形成有一第三萃取間隙；其中該第三萃取間隙對準該抑制電極板的第二萃取間隙；其中：

該萃取電極板耦接至一第一高壓電源供應單元的正電極；

該抑制電極板耦接至一第二高壓電源供應單元的負電極，該第二高壓電源供應單元的正電極則耦接至該第一高壓電源供應單元的負電極；

該接地電極板耦接到地。

5.如權利要求4所述的離子源，其特征在于，進一步包含有：

一基座，其頂面凸設有一進氣管；以及

一散熱裝置，設置于該基座的頂面與該電弧室的外殼的底面之間。

6.如權利要求5所述的離子源，其特征在于，該散熱裝置包含有：

一散熱本體，其底面設置于該基座的頂面，其頂面全平面地貼平于該電弧室底板的底面，該散熱本體對應該進氣管的一側面向內凹設有一貫穿其頂面及其底面的凹槽，且該進氣管的外管壁與該凹槽內壁面有一間距；以及

至少一冷卻媒介管，穿經該散熱本體，并自該散熱本體底面向下穿出二支管，該冷卻媒介管通過該二支管填充有一流動的冷卻媒介。

7.如權利要求6所述的離子源，其特征在于，該冷卻媒介為冷卻氣體或冷卻液體。

8.如權利要求7所述的離子源，其特征在于，進一步包含有多個彈性勾扣組件，其中各彈性勾扣組件包含有：

一L形固定件，螺設于該基座的一下基板上；

一彈簧，其一端勾設于該L形固定件；

一勾條，其一端勾扣于該彈簧的另一端，該勾條的另一端形成有一勾部，以勾扣于位于該電弧室的該萃取電極板的側邊。