[實用新型]一種硅片脫膠機下料臺

有效

• 申請號: 201720040412.7
• 申請日: 2017-01-13
• 公開（公告）號: CN206401287U
• 公開（公告）日: 2017-08-11
• 發明（設計）人: 嚴徇成;張亞超;何迎輝
• 申請（專利權）人: 淮安金太陽電力有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 淮安市科文知識產權事務所32223
• 代理人: 李杰

1.一種硅片脫膠機下料臺，連接于硅片脫膠機（1）的下料槽（2），其特征在于：包括水平向下料槽（2）外延伸的托板（5），所述托板（5）底面設置有豎直的外擋桿（6）、內擋桿（10）和限位擋桿（9），所述外擋桿（6）和內擋桿（10）分別貼合下料槽（2）側壁的外表面和內表面，所述限位擋桿（9）貼合下料槽（2）端壁的外表面。

2.如權利要求1所述的一種硅片脫膠機下料臺，其特征在于：所述托板（5）外端下表面與外擋桿（6）下部之間連接有傾斜的支撐桿（7）。

3.如權利要求1或2所述的一種硅片脫膠機下料臺，其特征在于：所述外擋桿（6）及支撐桿（7）分別設有兩根，所述兩根外擋桿（6）之間連接有加強桿（8）。

4.如權利要求1所述的一種硅片脫膠機下料臺，其特征在于：所述外擋桿（6）、內擋桿（10）和限位擋桿（9）的長度依次縮短。