[實用新型]一種真空壓強控制儀

有效

• 申請號: 201720039478.4
• 申請日: 2017-01-13
• 公開（公告）號: CN206348673U
• 公開（公告）日: 2017-07-21
• 發明（設計）人: 熊慧;賀良武;柳靈
• 申請（專利權）人: 成都興睿寶電子科技有限公司
• 主分類號: G05D16/20
• 分類號: G05D16/20
• 代理公司: 成都行之專利代理事務所(普通合伙)51220
• 代理人: 郭受剛

技術領域

本實用新型涉及真空壓強領域，具體涉及一種真空壓強控制儀。

背景技術

在真空鍍膜行業以及其他一些真空應用行業，以前對真空穩定度的要求很低，只需要真空度達到一定的上限即可；現在隨著理論和工藝的發展，對真空穩定度的要求越來越高。傳統真空儀表已經不能滿足這個需求。

國外有專門的壓強控制儀，但功能相對專一，價格高昂，配接的也是專門的真空傳感器，專門的電磁調節閥。無法配接我國市場上普遍采用的國產標準真空傳感器，國產電磁調節閥。進口真空傳感器和電磁調節閥的價格更是國內產品的數十倍、上百倍，后期使用成本相當高昂。

另有系統集成方案，通過氣體質量流量控制儀控制氣體流量來控制真空度。但是氣體質量流量計的反應時間通常都在秒級別，對真空度變化不快的系統尚能應付，但在如真空鍍膜等有強烈材料放氣的工業制程中，真空度波動頻繁，劇烈。氣體質量流量計的反應時間和穩定時間難以滿度要求。

另外，通過調節真空擋板閥開度，來調節系統抽速，進而穩定真空度；又或者通過變頻器控制真空泵轉速來調節等等方案，均由于擋板閥或者真空泵的響應速度局限，不能適應快速劇烈的壓強控制。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是傳統真空計不能實現壓強控制，目的在于提供一種真空壓強控制儀，實現傳統真空計不能達到的壓強控制，同時提高了動態響應速度，能適用于真空度快速劇烈波動的工藝場合。

本實用新型通過下述技術方案實現：

一種真空壓強控制儀，包括電阻真空規測量系統、電離真空規測量系統、真空壓強控制系統、模數轉換模塊、微處理器、信號輸出模塊，所述電阻真空規測量系統、電離真空規測量系統分別與模數轉換模塊連接，所述真空壓強控制系統、模數轉換模塊、信號輸出模塊分別與微處理器連接；所述電阻真空規測量系統用于測量低真空環境，所述電離真空規測量系統用于測量高真空環境，所述真空壓強控制系統作為執行機構，用于調節工質氣體的輸入。通過電離真空規測量系統和電阻真空規測量系統采集真空度信號，信號通過微處理器將真空度信號轉換成PWM波，PWM波驅動電磁調節閥，調節工質氣體的進氣量，以此調節真空系統真空度。

進一步地，電阻真空規測量系統包括電阻真空規管和電阻真空規管測量電路，所述電阻真空規管與電阻真空規管測量電路連接，所述電阻真空規管測量電路與模數轉換模塊連接。電阻真空規管測量的范圍在大氣壓到5×10^-2Pa。

進一步地，電離真空規測量系統包括電離真空規管和電離真空規管測量電路，所述電離真空規管與電離真空規管測量電路連接，所述電離真空規管測量電路與模數轉換模塊連接。電離真空規管的測量范圍在1Pa～10^-7Pa。

進一步地，真空壓強控制系統包括電磁調節閥和電磁調節閥驅動電路，所述電磁調節閥與電磁調節閥驅動電路連接，所述電磁調節驅動電路與微處理器連接。使用PWM調制方式對真空電磁調節閥進行驅動，可減輕真空電磁調節閥的磁滯效應，加快真空電磁調節閥的反應速度。

進一步地，信號輸出模塊包括顯示器、通訊模塊、開關節點輸出電路、數模轉換模塊、模擬信號輸出接口，所述顯示器、通訊模塊、開關節點輸出電路、數模轉換模塊分別與微處理器連接，所述模擬信號輸出接口與數模轉換模塊連接。顯示器用于提供真空度實時顯示；模擬信號輸出接口可將真空測量值實時的傳送至上位機系統；開關節點輸出電路，可提供各泵組或者真空閥門的動作信號；通訊模塊可實現上位機與壓控儀的實時雙向通訊，完成真空度的數據上傳和控制信號的下傳。

進一步地，一種真空壓強控制儀，還包括按鍵，所述按鍵與微處理器連接，所述按鍵用于人工信息的輸入和控制，主要包括個性參數的手工設定。

本實用新型與現有技術相比，具有如下的優點和有益效果：本實用新型實現了傳統真空計不能做到的壓強控制；同時，相比進口產品，可以采用國產標準真空規管和真空電磁調節閥，儀表本身成本和使用成本都有極大降低；此外，相比其他系統集成類控制方案，本實用新型的動態響應速度更高，更適用于真空度快速劇烈波動的工藝場合。

附圖說明

此處所說明的附圖用來提供對本實用新型實施例的進一步理解，構成本申請的一部分，并不構成對本實用新型實施例的限定。在附圖中：

圖1為本實用新型系統結構示意圖；

圖2為本實用新型電阻真空規管測量電路；

圖3為本實用新型電離真空規管的信號處理電路；

圖4為本實用新型電離真空規管測量電路；