[實(shí)用新型]雙層波紋管

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201720033211.4
• 申請(qǐng)日: 2017-01-11
• 公開（公告）號(hào): CN206973083U
• 公開（公告）日: 2018-02-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉錦東;任星利;張學(xué)勇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): F16L9/18
• 分類號(hào): F16L9/18;F16L9/06
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11112
• 代理人: 柴亮,張?zhí)焓?/td>

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于真空腔室配件技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種雙層波紋管。

背景技術(shù)

真空腔室中使用的波紋管經(jīng)常會(huì)因?yàn)橹谱魅毕荩藶椴恍⌒呐鲎布胺磸?fù)伸縮動(dòng)作導(dǎo)致泄漏(Leak)的發(fā)生，即使只是很微小的泄漏，也會(huì)導(dǎo)致真空腔室的真空度發(fā)生劇烈性變化，導(dǎo)致腔室真空度下降，從而影響器件壽命。一般發(fā)生泄漏的位置十分隱蔽，且極其微小，無法實(shí)時(shí)發(fā)現(xiàn)，所以一旦發(fā)生泄漏，就只能停止生產(chǎn)，更換新的波紋管，重新開始生產(chǎn)，嚴(yán)重影響設(shè)備的生產(chǎn)能力。

因此，如何預(yù)防波紋管泄漏，以及提前發(fā)現(xiàn)泄漏成為是亟需要解決的技術(shù)問題。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一，提供一種雙層波紋管，用以解決如何預(yù)防波紋管泄漏，以及提前發(fā)現(xiàn)泄漏的問題。

解決本實(shí)用新型技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是一種(雙層波紋管，包括相互連接的內(nèi)波紋管和外波紋管，所述外波紋管為透明結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選的是，所述內(nèi)波紋管和所述外波紋管均包括第一端部、第二端部，以及位于第一端部和第二端部的波紋部；其中，所述內(nèi)波紋管的第一端部與所述外波紋管的第一端部連接；所述內(nèi)波紋管的第二端部與所述外波紋管的第二端部連接；且所述內(nèi)波紋管的波紋部的伸縮系數(shù)大于所述外波紋管的波紋部的伸縮系數(shù)。

優(yōu)選的是，所述內(nèi)波紋管和所述外波紋管的材料相同。

進(jìn)一步優(yōu)選的是，所述內(nèi)波紋管的第一端部與所述外波紋管的第一端部為一體成型結(jié)構(gòu)；所述內(nèi)波紋管的第二端部與所述外波紋管的第二端部為一體成型結(jié)構(gòu)。進(jìn)一步優(yōu)選的是，所述內(nèi)波紋管和所述外波紋管的材料包括真空塑料、橡膠、透明金屬中的任意一種。

優(yōu)選的是，所述內(nèi)波紋管和所述外波紋管的材料不同。

進(jìn)一步優(yōu)選的是，所述外波紋管的材料包括真空塑料、橡膠、透明金屬中的任意一種。

進(jìn)一步優(yōu)選的是，所述內(nèi)波紋管的材料包括不銹鋼、高密度聚乙烯。

進(jìn)一步優(yōu)選的是，所述外波紋管的波紋部的伸縮系數(shù)為0.4。

進(jìn)一步優(yōu)選的是，所述外波紋管的波紋部的伸縮系數(shù)為0.6。

本發(fā)明具有如下有益效果：

由于本發(fā)明中的外波紋管采用的是透明結(jié)構(gòu)，因此當(dāng)內(nèi)波紋管發(fā)生泄漏時(shí)，可以透過外波紋管及時(shí)發(fā)現(xiàn)泄漏的位置，對(duì)波紋管進(jìn)行替換。與此同時(shí)由于外波紋管的存在，也不會(huì)導(dǎo)致真空度突然變差，所以若不替換波紋管，該波紋管還是可以繼續(xù)使用，直至外波紋管也發(fā)生泄漏，以此看來本發(fā)明中的雙層波紋管具有更長的使用壽命，且易于觀察發(fā)生泄漏的位置。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型的實(shí)施例1、2的雙層波紋管的結(jié)構(gòu)示意圖。

其中附圖標(biāo)記為：1、內(nèi)波紋管；2、外波紋管；11、內(nèi)波紋管的第一端部；12、內(nèi)波紋管的第二端部；13、內(nèi)波紋管的波紋部；21、外波紋管的第一端部；22、外波紋管的第二端部；23、外波紋管的波紋部。

具體實(shí)施方式

為使本領(lǐng)域技術(shù)人員更好地理解本實(shí)用新型的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)描述。

實(shí)施例1：

如圖1所示，本實(shí)施例提供一種雙層波紋管，包括相互連接的內(nèi)波紋管1和外波紋管2，其中外波紋管2為透明結(jié)構(gòu)。

本實(shí)施例中所提供的波紋管為雙層波紋管，較現(xiàn)有技術(shù)中的單層波紋管而言具有更長的使用壽命。具體的，該雙層波紋管使用過程中，一般來說，泄漏會(huì)先發(fā)生在內(nèi)波紋管1上，隨后才可能發(fā)生在外波紋管2上，而本實(shí)施例中的外波紋管2采用的是透明結(jié)構(gòu)，因此當(dāng)內(nèi)波紋管1發(fā)生泄漏時(shí)，可以透過外波紋管2及時(shí)發(fā)現(xiàn)泄漏的位置，對(duì)波紋管進(jìn)行替換。與此同時(shí)由于外波紋管2的存在，也不會(huì)導(dǎo)致真空度突然變差，所以若不替換波紋管，該波紋管還是可以繼續(xù)使用，直至外波紋管2也發(fā)生泄漏，以此看來本實(shí)施例中的雙層波紋管具有更長的使用壽命，且易于觀察發(fā)生泄漏的位置。

實(shí)施例2：

本實(shí)施例提供一種雙層波紋管，包括內(nèi)波紋管1和透明結(jié)構(gòu)的外波紋管2；其中，內(nèi)波紋管1和外波紋管2均包括第一端部、第二端部，以及位于第一端部和第二端部的波紋部；其中，內(nèi)波紋管的第一端部11與外波紋管的第一端部21連接；內(nèi)波紋管的第二端部12與外波紋管的第二端部22連接；且內(nèi)波紋管的波紋部13的伸縮系數(shù)大于外波紋管的波紋部23的伸縮系數(shù)。

本實(shí)施例中的伸縮系數(shù)是指，位于第一端部和第二端部之間的波紋部沿波紋管軸向的變形能力或者拉伸能力。