[實用新型]高純氨氣瓶余氣的一體化組合式批量處理系統

有效

• 申請號: 201720031911.X
• 申請日: 2017-01-11
• 公開（公告）號: CN206463737U
• 公開（公告）日: 2017-09-05
• 發明（設計）人: 陳偉;彭啟兵
• 申請（專利權）人: 南京華特硅材料有限公司;南京特種氣體廠股份有限公司
• 主分類號: B01D53/14
• 分類號: B01D53/14
• 代理公司: 南京蘇創專利代理事務所(普通合伙)32273
• 代理人: 王華

1.一種高純氨氣瓶余氣的一體化組合式批量處理系統，其特征在于：包括第一管路(20)、第二管路(21)、回收管路、檢測管路和洗氣管路，以及若干并列設置于第一管路(20)和第二管路(21)之間的相互獨立的待處理瓶管路；

各待處理瓶管路均分別包括用于連接待處理瓶氣相閥和第一管路(20)的第三閥門(3)，和用于連接待處理瓶液相閥和第二管路(21)的第五閥門(5)；

所述回收管路包括依次連接的第十閥門(10)、壓縮機(11)、第三管路(22)，以及若干并列設置于第三管路(22)上的用于連接回收瓶的第十二閥門(12)；

所述檢測管路包括依次連接的第七閥門(7)和氨氣濃度測試儀(8)；

所述洗氣管路包括依次連接的第九閥門(9)和多級吸收塔；

所述第二管路(21)分別與檢測管路、回收管路和洗氣管路的入口連接。

2.根據權利要求1所述的高純氨氣瓶余氣的一體化組合式批量處理系統，其特征在于：所述第二管路(21)上設有真空壓力表(6)。

3.根據權利要求1所述的高純氨氣瓶余氣的一體化組合式批量處理系統，其特征在于：所述第一管路(20)與氮氣入口連接。

4.根據權利要求1所述的高純氨氣瓶余氣的一體化組合式批量處理系統，其特征在于：所述第一管路(20)上還設有壓力表(1)。

5.根據權利要求1所述的高純氨氣瓶余氣的一體化組合式批量處理系統，其特征在于：所述第一管路(20)上還設有壓力表(1)，第一管路(20)通過第二閥門(2)與氮氣入口連接。

6.根據權利要求1所述的高純氨氣瓶余氣的一體化組合式批量處理系統，其特征在于：所述處理系統包括3個以上的待處理瓶管路。

7.根據權利要求1所述的高純氨氣瓶余氣的一體化組合式批量處理系統，其特征在于：所述處理系統包括3個以上的并列設置于第三管路(22)上的用于連接回收瓶的第十二閥門(12)。

8.根據權利要求1所述的高純氨氣瓶余氣的一體化組合式批量處理系統，其特征在于：所述多級吸收塔包括依序連接的三級以上的吸收塔。

9.根據權利要求1所述的高純氨氣瓶余氣的一體化組合式批量處理系統，其特征在于：所述第二管路(21)通過與檢測管路的第七閥門(7)連接實現與檢測管路的入口連接，所述第二管路(21)通過與回收管路的第十閥門(10)連接實現與回收管路的入口連接，所述第二管路(21)通過與洗氣管路的第九閥門(9)連接實現與洗氣管路的入口連接。