[實用新型]基于溫度調節性能的石墨烯仿生光探測器

有效

• 申請號: 201720030919.4
• 申請日: 2017-01-11
• 公開（公告）號: CN206618429U
• 公開（公告）日: 2017-11-07
• 發明（設計）人: 李鐵;仝敬;王伊;張蕾;高安然;張東偉;宋海峰;王躍林
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海微系統與信息技術研究所;北京正旦國際科技有限責任公司
• 主分類號: G01D5/26
• 分類號: G01D5/26;C23C16/26
• 代理公司: 上海光華專利事務所31219
• 代理人: 余明偉

1.一種基于溫度調節性能的石墨烯仿生光探測器，其特征在于，包括：

微加熱器平臺；

石墨烯，位于所述微加熱器平臺上；

活性薄膜，形成于所述石墨烯的表面，其中，所述活性薄膜為具有活性基團的活性薄膜；

光受體蛋白，形成于所述活性薄膜上。

2.根據權利要求1所述的基于溫度調節性能的石墨烯仿生光探測器，其特征在于，所述石墨烯為經過退火處理的石墨烯。

3.根據權利要求1所述的基于溫度調節性能的石墨烯仿生光探測器，其特征在于，所述活性薄膜為對所述石墨烯進行試劑修飾所得到的活性薄膜，所述試劑包括1，5-二氨基萘、1-芘丁酸、戊二醛、1-(3-二甲氨基丙基)-3-乙基碳二亞胺鹽酸鹽及N-羥基琥珀酰亞胺中的一種。

4.根據權利要求1所述的基于溫度調節性能的石墨烯仿生光探測器，其特征在于，所述活性薄膜為具有活性基團的活性薄膜，所述活性基團為氨基活性基團、羧基活性基團、醛基活性基團中的一種。

5.根據權利要求4所述的基于溫度調節性能的石墨烯仿生光探測器，其特征在于，所述光受體蛋白與所述活性薄膜的活性基團結合形成共價鍵，以連接所述光受體蛋白與所述活性薄膜。

6.根據權利要求1所述的基于溫度調節性能的石墨烯仿生光探測器，其特征在于，所述光受體蛋白包括視蛋白類、光敏素類、隱花色素類、向光色素類、BLUF結構域類、紫外光受體類中的一種。

7.根據權利要求1所述的基于溫度調節性能的石墨烯仿生光探測器，其特征在于，所述微加熱器平臺自下而上依次包括：

襯底，其中包括一個隔熱腔；

復合膜，位于所述隔熱腔上方，包括加熱膜區以及支撐梁區，所述支撐梁區連接所述加熱膜區與所述襯底；

電阻器件，包括加熱電阻絲、第一供電引線、第一供電電極，其中，至少所述加熱電阻絲形成于所述加熱膜區上；

絕緣層，形成于所述電阻器件上，至少覆蓋所述加熱電阻絲；

電極器件，形成于所述絕緣層上，并且包括測試電極、第二供電引線、第二供電電極，其中，至少所述測試電極與所述加熱電阻絲上下對應設置，所述石墨烯至少覆蓋所述測試電極。

8.根據權利要求7所述的基于溫度調節性能的石墨烯仿生光探測器，其特征在于，所述測試電極為叉指電極。

9.根據權利要求7所述的基于溫度調節性能的石墨烯仿生光探測器，其特征在于，所述襯底為(100)面的硅襯底，所述復合膜為至少一層氧化硅膜及至少一層氮化硅膜形成的復合膜。

10.根據權利要求7所述的基于溫度調節性能的石墨烯仿生光探測器，其特征在于，所述支撐梁區的形狀為直線形或蛇形。