[實用新型]一種鍍膜機鍍鉻層修復裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201720030417.1 | 申請日： | 2017-01-12 |
| 公開（公告）號： | CN206447934U | 公開（公告）日： | 2017-08-29 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 吳晨 | 申請（專利權(quán)）人： | 安徽普威達真空科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34;C23C14/50 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 230094 安徽省合肥市*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 鍍膜 鍍鉻 修復 裝置 | ||
1.一種鍍膜機鍍鉻層修復裝置，其特征在于：包括真空室腔體（1）、靶材（2）和工件（3），所述真空室腔體（1）為圓柱體形，所述靶材（2）嵌入在真空室腔體（1）的周圍的腔體壁上，所述工件（3）安裝在真空室腔體（1）的底部中間凸起的底座位置，所述真空室腔體（1）的底部與真空室腔體（1）的側(cè)壁之間為組合連接，所述在真空室腔體（1）上端設(shè)有氣體流通口（4）。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鍍膜機鍍鉻層修復裝置，其特征在于：所述工件（3）安裝在真空室腔體（1）底部中間凸起的底座的方式為螺紋安裝方式或卡合式安裝方式。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鍍膜機鍍鉻層修復裝置，其特征在于：所述真空室腔體（1）的底部與真空室腔體（1）的側(cè)壁之間的組合連接方式為螺紋旋轉(zhuǎn)連接或是卡合式連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鍍膜機鍍鉻層修復裝置，其特征在于：所述真空室腔體（1）底部四周設(shè)有密封圈，所述密封圈的制作材料為高分子納米材料。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鍍膜機鍍鉻層修復裝置，其特征在于：所述靶材的制作材料為金屬鉻。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鍍膜機鍍鉻層修復裝置，其特征在于：所述真空室腔體（1）的底部設(shè)有旋轉(zhuǎn)裝置。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種鍍膜機鍍鉻層修復裝置，其特征在于：所述真空室腔體（1）的底部中間凸起的底座內(nèi)部表面設(shè)有橡膠保護層。
8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種鍍膜機鍍鉻層修復裝置，其特征在于：所述真空室腔體（1）的底部底座個數(shù)為1～6個。
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理
