[實用新型]一種防止可控硅芯片氧化的芯片儲存柜

有效

• 申請號: 201720029665.4
• 申請日: 2017-01-11
• 公開（公告）號: CN206375189U
• 公開（公告）日: 2017-08-04
• 發明（設計）人: 李長征;孫群志;唐瑾
• 申請（專利權）人: 浩明科技（中山）有限公司
• 主分類號: B65D81/20
• 分類號: B65D81/20;B65D81/18
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種防止可控硅芯片氧化的芯片儲存柜，包括冰柜（1）和氮氣罐（3），其特征在于：所述冰柜（1）的一側設有輸送管道（2），輸送管道（2）的一端連接冰柜（1）的側壁，輸送管道（2）的另一端連接氮氣罐（3）的頂部出口處，在所述氮氣罐（3）和冰柜（1）的內側設置有減壓閥（4）、第一壓力表（5）、第二壓力表（6）、氣體控制盒（7）、調壓閥（8）和濕度顯示器（9），所述減壓閥（4）的底部固定連接輸送管道（2），減壓閥（4）的外側壁連接有第一壓力表（5），第一壓力表（5）位于氣體控制盒（7）的一側，所述氣體控制盒（7）安裝在輸送管道（2）上，氣體控制盒（7）固定連接輸送管道（2）的外表面，氣體控制盒（7）的側表面上安裝有第二壓力表（6）、調壓閥（8）和濕度顯示器（9），調壓閥（8）位于第二壓力表（6）和濕度顯示器（9）的內側，氣體控制盒（7）通過輸送管道（2）連接冰柜（1），冰柜（1）包括柜體（10）、柜門（11）和濕度傳感器（12），柜體（10）活動連接柜門（11）的一端，柜體（10）的內側安裝有濕度傳感器（12）。

2.根據權利要求1所述的一種防止可控硅芯片氧化的芯片儲存柜，其特征在于：所述減壓閥（4）靠近氮氣罐（3）的頂部出口處。

3.根據權利要求1所述的一種防止可控硅芯片氧化的芯片儲存柜，其特征在于：所述柜體（10）與柜門（11）的連接處密封性能良好。

4.根據權利要求1所述的一種防止可控硅芯片氧化的芯片儲存柜，其特征在于：所述濕度傳感器（12）通過信號連接線連接濕度顯示器（9）。