[實用新型]硅片清洗甩干裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201720025859.7 | 申請日： | 2017-01-10 |
| 公開（公告）號： | CN206435519U | 公開（公告）日： | 2017-08-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 應(yīng)小專 | 申請（專利權(quán)）人： | 寧波榮升新能源有限公司 |
| 主分類號： | B08B3/02 | 分類號： | B08B3/02;B08B3/10;B08B13/00;F26B5/08;H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 浙江杭州金通專利事務(wù)所有限公司33100 | 代理人： | 董世博 |
| 地址： | 315600 浙江省寧波市寧海縣*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 硅片 清洗 裝置 | ||
1.硅片清洗甩干裝置，包括外筒，以及固定在外筒內(nèi)的擱置架，其特征在于所述的外筒的底板包括相對可旋轉(zhuǎn)的外環(huán)部與內(nèi)圈部，所述的擱置架為環(huán)形結(jié)構(gòu)且固定在外環(huán)部，所述的外環(huán)部與旋轉(zhuǎn)電機(jī)連接，所述的內(nèi)圈部安裝有與水泵連接的噴水機(jī)頭，所述的噴水機(jī)頭的外周均勻分布有多個高壓出水口，所述的擱置架包括上下兩片水平設(shè)置的圓環(huán)片，兩片圓環(huán)片之間通過連接柱連接，所述的相鄰的兩個連接柱之間安裝有硅片安裝架，所述的硅片安裝架為前側(cè)面開口的中空結(jié)構(gòu)，所述的硅片安裝架的前側(cè)面的邊沿處設(shè)置有向后翻折、與擱置架結(jié)構(gòu)相適應(yīng)的折邊。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片清洗甩干裝置，其特征在于所述的折邊外扣在所述的圓環(huán)片、連接柱上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片清洗甩干裝置，其特征在于所述的硅片安裝架的上下面為水平設(shè)置的多個L型結(jié)構(gòu)的分隔板構(gòu)成，多個分隔板等間距設(shè)置，所述的硅片安裝架的后側(cè)面包括兩個連接桿，兩個連接桿分別將分隔板的底部連接起來，硅片安裝在兩個分隔板之間。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片清洗甩干裝置，其特征在于所述的擱置架與外筒壁之間存在預(yù)定間距，且外筒的底部設(shè)置有出水孔。
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