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[實用新型]一種加熱裝置有效

專利信息
申請號: 201720025828.1 申請日: 2017-01-10
公開(公告)號: CN206411528U 公開(公告)日: 2017-08-15
發明(設計)人: 唐寅;雷雄 申請(專利權)人: 中芯長電半導體(江陰)有限公司
主分類號: G05D23/30 分類號: G05D23/30
代理公司: 上海光華專利事務所31219 代理人: 王華英
地址: 214437 江*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 加熱 裝置
【權利要求書】:

1.一種加熱裝置,其特征在于,包括:

外槽,所述外槽內盛裝有熱傳導液;

內槽,所述內槽中盛裝有待加熱溶液,且所述內槽位于所述熱傳導液中;

加熱器,所述加熱器位于所述熱傳導液中,適于加熱所述熱傳導液;

溫控系統,所述溫控系統與所述加熱器電性連接,適于通過控制所述加熱器來控制所述熱傳導液和所述待加熱溶液的溫度。

2.根據權利要求1所述的加熱裝置,其特征在于,所述溫控系統包括控制器以及與所述控制器電性連接的溫度傳感器,所述溫度傳感器至少設置有兩個,且分別用于感測所述熱傳導液和所述待加熱溶液的溫度,并將溫度結果反饋給所述控制器,所述控制器控制所述加熱器的工作狀態。

3.根據權利要求1-2任一項所述的加熱裝置,其特征在于,所述加熱器為發熱管、電磁發熱器、微波發熱器、發熱光管、燃氣加熱器的其中之一。

4.根據權利要求1所述的加熱裝置,其特征在于,所述熱傳導液為水。

5.根據權利要求1所述的加熱裝置,其特征在于,所述待加熱溶液為有機溶液。

6.根據權利要求1所述的加熱裝置,其特征在于,所述外槽和所述內槽均為不銹鋼材質制成。

7.根據權利要求1所述的加熱裝置,其特征在于,所述外槽內設有用于固定所述內槽的支撐架。

8.根據權利要求1所述的加熱裝置,其特征在于,所述溫控系統控制所述待加熱溶液的溫度范圍為55~70℃。

9.根據權利要求1所述的加熱裝置,其特征在于,所述溫控系統控制所述熱傳導液的溫度不高于100℃。

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