[實用新型]高精度薄膜壓力傳感器

有效

• 申請號: 201720021746.X
• 申請日: 2017-01-10
• 公開（公告）號: CN206399577U
• 公開（公告）日: 2017-08-11
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 北京中航興盛測控技術有限公司
• 主分類號: G01L7/10
• 分類號: G01L7/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種高精度薄膜壓力傳感器，包括開口呈淺“U”形的圓形膜片(1)，下端焊接所述圓形膜片(1)、中心開圓孔、上端焊接彈性體的支撐座(2)，下端焊接在所述支撐座(2)的上部邊緣、帶有中心梁(31)的“E”形彈性體(3)，穿過所述支撐座(2)的中心圓孔、下端焊接在所述圓形膜片(1)中心、上端焊接在所述彈性體(3)的中心梁(31)處的傳力柱(4)和外殼(5)組成，其特征在于：所述彈性體(3)外周焊接有支撐電路板的電路板支架(33)，所述電路板支架(33)上固定有電路板(34)；所述彈性體(3)是采用濺射薄膜技術在彈性體上表面(32)上制造有四個應變電阻(38)并形成惠斯電橋，當所述圓形膜片(1)受到壓力作用時，均勻分布的壓力通過所述傳力柱(4)集中并傳遞到所述彈性體(3)的中心梁(31)上，所述彈性體上表面(32)上的所述四個應變電阻(38)阻值發生變化，惠斯電橋失去平衡，通過一端焊接在焊盤(39)、另一端焊接在所述電路板(34)的內引線(35)輸出與所受壓力成比例的電信號；所述電信號通過焊接在所述電路板(34)上的外引線(36)向外輸出。

2.如權利要求1所述的高精度薄膜壓力傳感器，其特征在于：所述圓形膜片(1)采用不銹鋼、鈦、非晶材料中的一種制成。

3.如權利要求1所述的高精度薄膜壓力傳感器，其特征在于：所述電路板(34)上方灌注有保護所述電路板(34)、所述內引線(35)和所述外引線(36)的質軟保護膠(37)。