[實用新型]一種化學清洗裝置

有效

• 申請號: 201720018445.1
• 申請日: 2017-01-09
• 公開（公告）號: CN207204762U
• 公開（公告）日: 2018-04-10
• 發明（設計）人: 王作弟
• 申請（專利權）人: 陜西思爾生物科技有限公司
• 主分類號: B08B3/14
• 分類號: B08B3/14;B08B13/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及化學清洗設備技術領域，具體為一種化學清洗裝置。

背景技術

在現有的半導體制造工藝中，當經過刻蝕工藝之后，形成有半導體結構的晶圓表面容易產生雜質和聚合物殘留，而這些殘留的雜質和聚合物容易對后續的處理工藝造成影響，例如沉積工藝。因此，為了排除這些雜質或聚合物，需要在各工藝步驟之間進行清洗工藝。且化學清洗以其節能、高效及實用的特點, 在我國石化企業廣泛應用，能夠清除包括硫化物、水垢在內的大多數污垢成分，現有的化學清洗裝置的清洗液不能夠重復的利用，不能夠達到節能減排的目的。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種化學清洗裝置，以解決上述背景技術中提出的問題，所具有的有益效果是；化學清洗裝置的設置的箱門為玻璃材質的能夠對內部清洗的過程進行觀察，并在清洗室內部安裝的放置架的下側安裝有導軌，能夠方便放置架的移動。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種化學清洗裝置，包括箱體和過濾裝置，所述箱體的正面設置的箱門通過連接鉸鏈安裝在箱體上，所述箱門的一側邊上安裝有門扣，所述箱門的下側安裝有控制按鈕，所述箱體的一側邊處安裝有進液管和出液管，且進液管安裝在出液管的上側，所述箱體的內部設置有兩個清洗室，且清洗室的下側設置有廢液存儲室，廢液存儲室的下側設置有清洗液存儲室，所述清洗室的內部安裝有放置架，所述過濾裝置安裝在廢液存儲室的一側，且過濾裝置通過管道分別與廢液存儲室和清洗液存儲室連通，所述清洗液存儲室的一側安裝的水泵通過一側安裝的電動機供能，所述水泵通過供液管與清洗室內的清洗裝置本體連接。

優選的，所述水泵和電動機安裝在箱體的內部。

優選的，所述放置架的下側安裝有滑軌。

優選的，所述清洗室與廢液存儲室之間通過管道連通。

優選的，所述廢液存儲室通過廢水排放管與外界連通。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：化學清洗裝置的箱門為玻璃材質，能夠對內部清洗的過程進行觀察，并在清洗室內部的放置架下側安裝有導軌，能夠方便實現放置架的移動，在放置架的內部設置有多個放置槽，方便需要清洗的半導體板的放置，另外，清洗后的廢水會存儲在廢液存儲室內，經過過濾處理后，進行再次的使用，能夠達到循環利用的效果，起到節能減排的作用。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為本實用新型的結構示意圖。

圖中：1-連接鉸鏈；2-箱門；3-箱體；4-門扣；5-控制按鈕；6-進液管；7-出液管；8-供液管；9-廢水排放管；10-水泵；11-電動機；12-清洗裝置本體；13-放置架；14-清洗室；15-廢液存儲室；16-過濾裝置；17-清洗液存儲室。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

請參閱圖1-2，本實用新型提供的一種實施例：一種化學清洗裝置，包括箱體3和過濾裝置16，箱體3的正面設置的箱門2通過連接鉸鏈1安裝在箱體3上，箱門2的一側邊上安裝有門扣4，箱門2的下側安裝有控制按鈕5，箱體3的一側邊處安裝有進液管6和出液管7，且進液管6安裝在出液管7的上側，箱體3的內部設置有兩個清洗室14，且清洗室14的下側設置有廢液存儲室15，廢液存儲室15的下側設置有清洗液存儲室17，清洗室14的內部安裝有放置架13，過濾裝置16安裝在廢液存儲室15的一側，且過濾裝置16通過管道分別與廢液存儲室15和清洗液存儲室17連通，清洗液存儲室17的一側安裝的水泵10通過一側安裝的電動機11供能，水泵10通過供液管8與清洗室14內的清洗裝置本體12連接，水泵10和電動機11安裝在箱體3的內部，放置架13的下側安裝有滑軌，清洗室14與廢液存儲室15之間通過管道連通，廢液存儲室15通過廢水排放管9與外界連通。

工作原理：本實用新型公開了一種化學清洗裝置，在使用的過程中，首先要將箱門2打開，將清洗室14內部的放置架13拉出，將需要清洗的半導體板放置在放置架13內的卡槽內，關閉箱門2后，通過安裝在箱體3上的控制按鈕5控制電動機11和水泵10啟動，使得清洗裝置12噴灑清洗液，進行清洗的工作，清洗后的廢液，進入廢液存儲室15，在經過過濾裝置16過濾，回到清洗液存儲室17。

對于本領域技術人員而言，顯然本實用新型不限于上述示范性實施例的細節，而且在不背離本實用新型的精神或基本特征的情況下，能夠以其他的具體形式實現本實用新型。因此，無論從哪一點來看，均應將實施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本實用新型的范圍由所附權利要求而不是上述說明限定，因此旨在將落在權利要求的等同要件的含義和范圍內的所有變化囊括在本實用新型內。不應將權利要求中的任何附圖標記視為限制所涉及的權利要求。