[實用新型]一種檢測透明材料表面和內部缺陷的暗場顯微成像裝置

有效

• 申請號: 201720017403.6
• 申請日: 2017-01-09
• 公開（公告）號: CN206339496U
• 公開（公告）日: 2017-07-18
• 發明（設計）人: 劉乾;袁道成;吉方;何建國
• 申請（專利權）人: 中國工程物理研究院機械制造工藝研究所
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88
• 代理公司: 中國工程物理研究院專利中心51210
• 代理人: 翟長明,韓志英

1.一種檢測透明材料表面和內部缺陷的暗場顯微成像裝置，其特征在于：所述的暗場顯微成像裝置包括暗場照明單元、遮擋物（7）、成像顯微鏡（8）；所述的暗場照明單元由光源（1）和照明鏡頭（2）組成，光源（1）、照明鏡頭（2）、遮擋物（7）、成像顯微鏡（8）依次設置在同軸光路上；待檢測的透明材料（4）設置于照明鏡頭（2）與遮擋物（7）之間位于成像顯微鏡（8）的成像面上；所述的光源（1）發出的照明直射光（3）依次經照明鏡頭（2）、透明材料（4）后照射在遮擋物（7）上；所述的照明直射光（3）射在遮擋物（7）上的光斑小于遮擋物（7）的尺寸；所述的遮擋物（7）的尺寸小于成像顯微鏡（8）內第一面透鏡的尺寸。

2.根據權利要求1所述的暗場顯微成像裝置，其特征還在于：所述的遮擋物（7）采用吸光型遮擋物、凹面狀遮擋物、錐形遮擋物、有角度反射遮擋物、凸面狀遮擋物中的一種。