[實用新型]基于邁克爾遜干涉原理的非接觸式樣品厚度測量裝置

有效

• 申請號: 201720017316.0
• 申請日: 2017-01-07
• 公開（公告）號: CN206362308U
• 公開（公告）日: 2017-07-28
• 發明（設計）人: 譚東杰;關國業;林方
• 申請（專利權）人: 四川大學
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06
• 代理公司: 成都科海專利事務有限責任公司51202
• 代理人: 呂建平

1.一種基于邁克爾遜干涉原理的非接觸式樣品厚度測量裝置，其特征在于包括可旋轉載物臺(3)以及主要由M1反射鏡(1)、M2反射鏡(2)、激光源(5)、接收器件(6)、分光板(7)和補償板(8)構成的光路組件，所述激光源(5)、分光板(7)、補償板(8)和M2反光鏡(2)沿同一方向依次排列，所述分光板(7)與補償板(8)相互平行且均與M1反射鏡鏡面成45°夾角；所述可旋轉載物臺(3)位于M1反射鏡(1)和分光板(7)之間；分光板(7)將激光源(5)發射的激光分為兩束，其中一束激光經位于可旋轉載物臺(3)上的樣品(4)入射到M1反射鏡(1)，另一束激光經補償板(8)入射到M2反光鏡(2)；由M1反光鏡(1)反射回的反射光經可旋轉載物臺(3)上的樣品(4)、分光板(7)由接收器件(6)接收，由M2反光鏡(2)反射回的反射光經補償板(8)再由分光板(7)反射至接收器件(6)；調整可旋轉載物臺(3)的旋轉角度，使兩束反射光在接收器件(6)上形成干涉條紋。

2.根據權利要求1所述基于邁克爾遜干涉原理的非接觸式樣品厚度測量裝置，其特征在于所述接收器件(6)為接收屏。

3.一種基于邁克爾遜干涉原理的非接觸式樣品厚度測量裝置，其特征在于包括放置待測樣品的固定載物臺(3’)以及封裝在一殼體(13)內的光路組件；所述光路組件主要由安裝在殼體(13)內基座上的M1反射鏡(1)、M2反射鏡(2)、激光源(5)、接收器件(6)、分光板(7)、補償板(8)和微機電陀螺儀(10)構成；所述激光源(5)、分光板(7)、補償板(8)和M2反光鏡(2)沿同一方向依次排列，所述分光板(7)與補償板(8)相互平行且均與M1反射鏡鏡面成45°夾角；所述基座與微機電陀螺儀(10)安裝在中心軸(9)上，實現基座旋轉與角度測量聯動；分光板(7)將激光源(5)發射的激光分為兩束，其中一束激光經樣品(4)入射到M1反射鏡(1)，另一束激光經補償板(8)入射到M2反光鏡(2)；由M1反光鏡(1)反射回的反射光經樣品(4)、分光板(7)由接收器件(6)接收，由M2反光鏡(2)反射回的反射光經補償板(8)再由分光板(7)反射至接收器件(6)；調整殼體(13)內的基座的旋轉角度，使接收器件(6)接收到干涉條紋；所述殼體(13)上設計有大于樣品厚度的開口，固定載物臺(3’)能使放置在其上的樣品沿開口進入殼體(13)內位于M1反射鏡(1)和分光板(7)之間。

4.根據權利要求1或3所述基于邁克爾遜干涉原理的非接觸式樣品厚度測量裝置，其特征在于所述接收器件6為CCD元件；所述CCD元件為平面點陣電荷耦合元件或者線性電荷耦合元件。

5.根據權利要求3權利要求所述基于邁克爾遜干涉原理的非接觸式樣品厚度測量裝置，其特征在于所述基座通過中心軸(9)安裝在殼體(13)內，中心軸位于殼體外的一端安裝有旋轉手柄。

6.根據權利要求3權利要求所述基于邁克爾遜干涉原理的非接觸式樣品厚度測量裝置，其特征在于所述微機電陀螺儀(10)和接收器件(6)分別與單片機(11)電連接。

7.根據權利要求6所述基于邁克爾遜干涉原理的非接觸式樣品厚度測量裝置，其特征在于所述單片機(11)安裝在殼體(13)內基座上；所述單片機(13)與位于殼體(13)外的顯示器件(12)電連接。

8.根據權利要求6所述基于邁克爾遜干涉原理的非接觸式樣品厚度測量裝置，其特征在于所述單片機(11)與顯示器件(12)電連接，且兩者位于殼體(13)的外部。