[實(shí)用新型]三層氮化硅薄膜電池片

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720013473.4
• 申請日: 2017-01-06
• 公開（公告）號: CN206301809U
• 公開（公告）日: 2017-07-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 范啟超;徐兆遠(yuǎn)
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江晶能光電有限公司
• 主分類號: H01L31/0216
• 分類號: H01L31/0216;H01L31/0224;H01L31/0445
• 代理公司: 嘉興永航專利代理事務(wù)所(普通合伙)33265
• 代理人: 蔡鼎

1.三層氮化硅薄膜電池片，包括硅片，其特征在于，所述硅片的正面涂覆有三層減反射膜，三層減反射膜均為氮化硅膜，三層減反射膜包括由下至上分布的第一層膜、第二層膜和第三層膜，第一層膜覆蓋于硅片的正面，第一層膜的厚度為8-12nm，第二層膜覆蓋于第一層膜的上表面，第二層膜的厚度為13-17nm，第三層膜覆蓋于第二層膜的上表面，第三層膜的厚度為53-57nm，第一層膜、第二層膜和第三層膜三者的總厚度為80nm；所述三層減反射膜的上表面印有主柵線和次柵線，主柵線的兩端開設(shè)有鏤空凹槽，鏤空凹槽槽寬為主柵線線寬的2/3，鏤空凹槽槽深為主柵線長度的1/12，硅片的背面印有背電極。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三層氮化硅薄膜電池片，其特征在于，所述鏤空凹槽內(nèi)設(shè)置有呈X型的輔助線，輔助線上設(shè)置有若干個(gè)鏤空孔。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三層氮化硅薄膜電池片，其特征在于，所述主柵線的數(shù)量至少有3條。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三層氮化硅薄膜電池片，其特征在于，所述硅片為多晶硅硅片。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的三層氮化硅薄膜電池片，其特征在于，所述硅片的厚度為180-200μm。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的三層氮化硅薄膜電池片，其特征在于，所述硅片的四角為倒角，倒角的角度為40-50°。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的三層氮化硅薄膜電池片，其特征在于，所述倒角的角度為45°。