[實用新型]一種高靈敏壓力傳感器

有效

• 申請號: 201720006563.0
• 申請日: 2017-01-04
• 公開（公告）號: CN207366110U
• 公開（公告）日: 2018-05-15
• 發明（設計）人: 王煒;譚化兵
• 申請（專利權）人: 無錫格菲電子薄膜科技有限公司
• 主分類號: G01L1/18
• 分類號: G01L1/18
• 代理公司: 北京煦潤律師事務所 11522
• 代理人: 艾娟

1.一種高靈敏壓力傳感器，其特征在于：包括感應層、襯底層、隔離層；所述感應層包括感應層襯底和鋪設于感應層襯底表面的導電層；所述隔離層位于導電層與襯底層中間，與導電層、襯底層貼合在一起，并將所述導電層與所述襯底層之間的接觸呈間斷性的隔離；所述襯底層與隔離層接觸的一面設置成凹凸不平的粗槽表面；所述襯底層具有導電性，由其引出電極，用于檢測電阻的變化。

2.根據權利要求1所述的高靈敏壓力傳感器，其特征在于：所述襯底層與隔離層接觸的一面設置成陣列排布的突起。

3.根據權利要求2所述的高靈敏壓力傳感器，其特征在于：所述突起采用金字塔結構的形貌。

4.根據權利要求3所述的高靈敏壓力傳感器，其特征在于：所述金字塔結構的底邊邊長為0.1μm-10μm。

5.根據權利要求1所述的高靈敏壓力傳感器，其特征在于：所述襯底層采用單晶硅或摻雜的單晶硅。

6.根據權利要求1所述的高靈敏壓力傳感器，其特征在于：所述襯底層的方阻為1Ω/□-100000Ω/□。

7.根據權利要求1所述的高靈敏壓力傳感器，其特征在于：所述襯底層的厚度為1μm-10mm。

8.根據權利要求1所述的高靈敏壓力傳感器，其特征在于：所述導電層采用石墨烯薄膜、碳納米管薄膜、納米銀線薄膜、碳纖維薄膜、導電樹脂薄膜或以上材料中的兩種或兩種以上的復合材料。

9.根據權利要求1所述的高靈敏壓力傳感器，其特征在于：所述導電層方塊電阻為0.1Ω/□-10000Ω/□。

10.根據權利要求1所述的高靈敏壓力傳感器，其特征在于：隔離層分布為離散的點狀、不連續的線狀或二者的復合。

11.根據權利要求1所述的高靈敏壓力傳感器，其特征在于：所述感應層襯底具有彈性。

12.根據權利要求1所述的高靈敏壓力傳感器，其特征在于：所述壓力傳感器設有一個或多個感應區，每個感應區均由感應層、襯底層和隔離層的周圍粘結封裝而成。