[實用新型]一種用于單晶硅棒截斷的捆綁支撐裝置有效
| 申請號: | 201720006312.2 | 申請日: | 2017-01-04 |
| 公開(公告)號: | CN206416351U | 公開(公告)日: | 2017-08-18 |
| 發明(設計)人: | 傅林堅;沈文杰;盧嘉彬;吳兵兵;邱文杰;楊思煒;何守龍;羅世銘;邱敏秀 | 申請(專利權)人: | 浙江晶盛機電股份有限公司 |
| 主分類號: | B28D7/04 | 分類號: | B28D7/04 |
| 代理公司: | 杭州中成專利事務所有限公司33212 | 代理人: | 周世駿 |
| 地址: | 312300 浙江*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 用于 單晶硅 截斷 捆綁 支撐 裝置 | ||
技術領域
本實用新型是關于單晶硅截斷裝備輔助設備領域,特別涉及一種用于單晶硅棒截斷的捆綁支撐裝置。
背景技術
單晶硅是一種良好的半導材料,其主要運用于半導體器件、太陽能電池等領域。通過單晶爐生長得到的是單晶硅棒,單晶硅棒的截斷是其進一步加工處理和運用過程中必須的一道工序。在單晶硅棒截斷設備中,硅棒的支撐和夾緊是其截斷質量好壞的關鍵。硅棒截斷時,其于截斷工位的一端被完全固定,但由于硅棒外表面的不規則性,使得硅棒另一端固定處于過定位或欠定位的狀態,當硅棒被截斷瞬間,硅棒表面產生細微的位移而導致“崩邊”現象,嚴重影響截斷質量,造成原材料不必要的損失。
為了解決上述問題,現主要采用人工塞墊的方式,但由于人工塞墊的方法難以控制,且效率低下,硅棒截斷質量仍難以有效保證。因而如何減小硅棒截斷過程中的細微位移,防止“崩邊”現象,是一個急需解決的問題。
實用新型內容
本實用新型的主要目的在于克服現有技術中的不足,提供一種能減小硅棒在截斷過程中細微位移、防止“崩邊”現象的捆綁支撐裝置。為解決上述技術問題,本實用新型的解決方案是:
提供一種用于單晶硅棒截斷的捆綁支撐裝置,用于硅棒的支撐和夾緊,所述用于單晶硅棒截斷的捆綁支撐裝置包括支撐機構、捆綁機構、連接組件;
所述連接組件包括支架墊塊、螺釘;
所述支撐機構包括底座、支撐墊塊;底座的兩側對稱開有(八個)螺紋孔,用于安裝捆綁機構;底座上還左右對稱共開有(六個)螺紋孔,支撐墊塊設有兩個,分別利用螺釘左右對稱安裝在底座上;且支撐墊塊上有一個斜面,兩個支撐墊塊的斜面相對安裝,用于配合托住硅棒;
所述捆綁機構包括捆綁帶、捆綁帶扣頭、捆綁帶支架、捆綁帶壓頭;捆綁帶支架設有兩個,分別利用螺釘通過支架墊塊固定在底座的兩側;捆綁帶扣頭包括扣座、扣緊板、連接軸,扣緊板的頭部為鋸齒狀,扣緊板、扣座通過連接軸連接,扣座通過螺釘固定在右側的捆綁帶支架的外側;捆綁帶支架的上端開有用于捆綁帶通過的通孔,捆綁帶能穿過兩側的捆綁帶支架通孔,捆綁帶壓頭用于將捆綁帶的一端部固定在左側的捆綁帶支架上,且捆綁帶壓頭和左側的捆綁帶支架采用螺釘連接;捆綁帶的另一端穿過扣座,通過壓緊扣緊板鎖死捆綁帶,再利用捆綁帶壓頭固定在右側的捆綁帶支架上;當硅棒置于支撐墊塊和捆綁帶上之后,能消除接觸間隙。
作為進一步的改進,所述支撐墊塊的斜面角度能根據硅棒直徑大小進行調整,用于貼合硅棒。
本實用新型的工作原理:整個裝置通過支撐機構托住硅棒,再拉緊捆綁帶并鎖死,減小硅棒在截斷過程中的細微位移。
與現有技術相比,本實用新型的有益效果是:
本實用新型結構簡單、成本低廉,能消除接觸間隙,顯著減小了硅棒在截斷過程中的細微位移,有效消除現存硅棒截斷“崩邊”問題,而且適用于不同直徑的硅棒。
附圖說明
圖1為本實用新型的正視圖。
圖2為本實用新型的三維等軸側視圖。
圖3為硅棒置于捆綁帶上,且捆綁帶鎖緊之后的狀態圖。
圖中的附圖標記為:1捆綁帶壓頭;2捆綁帶支架;3支架墊塊;4捆綁帶;5底座;6支撐墊塊;7扣座;8扣緊板;9連接軸。
具體實施方式
下面結合附圖與具體實施方式對本實用新型作進一步詳細描述:
如圖1、圖2所示的一種用于單晶硅棒截斷的捆綁支撐裝置包括支撐機構、捆綁機構、連接組件,用于硅棒的支撐和夾緊。其中,連接組件由支架墊塊3和螺釘組成。
所述支撐機構包括底座5、支撐墊塊6;底座5上左右對稱共開有六個螺紋孔,支撐墊塊6設有兩個,分別利用螺釘左右對稱安裝在底座5上。支撐墊塊6上有一個斜面,兩個支撐墊塊6的斜面相對安裝,用于配合托住硅棒;且支撐墊塊6可根據硅棒直徑大小調整其斜面的角度,以便于更好地貼合硅棒。底座5的兩側還對稱開有八個螺紋孔,用于安裝捆綁機構。
所述捆綁機構包括捆綁帶4、捆綁帶扣頭、捆綁帶支架2、捆綁帶壓頭1;捆綁帶支架2設有兩個,分別利用螺釘通過支架墊塊3固定在底座5的兩側。捆綁帶扣頭包括扣座7、扣緊板8、連接軸9,扣緊板8、扣座7通過連接軸9連接,扣座7通過螺釘固定在右側的捆綁帶支架2的外側。捆綁帶支架2的上端開有用于捆綁帶4通過的通孔,捆綁帶4穿過該通孔,然后再穿過扣座7,用捆綁帶壓頭1固定在兩側的捆綁帶支架2上,捆綁帶壓頭1和捆綁帶支架2采用螺釘連接。當硅棒置于支撐墊塊6和捆綁帶4上后,拉緊捆綁帶4,然后用扣緊板8鎖死,可有效消除接觸間隙,可參考圖3。扣緊板8頂部設計為鋸齒狀,增大鎖緊力。
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