[實用新型]一種集成生長與測量的分子束外延生長系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720005827.0
• 申請日: 2017-01-04
• 公開（公告）號: CN206573468U
• 公開（公告）日: 2017-10-20
• 發(fā)明（設計）人: 徐永兵;黃大威;吳競;何亮;劉文卿;陸顯揚;張曉倩
• 申請（專利權）人: 南京大學
• 主分類號: G01N21/21
• 分類號: G01N21/21;G01N21/01
• 代理公司: 南京瑞弘專利商標事務所(普通合伙)32249
• 代理人: 陳建和

1.集成生長與測量的分子束外延生長系統(tǒng)，其特征是包括分子束外延生長腔室、樣品操縱桿(2)、可傾斜的樣品臺(3)、入射光(4)、反射光(5)、一對電磁鐵(6)、偏振片(7)、檢偏器(8)、激光二極管(9)、光電探測器(10)、分子束外延的生長源；分子束外延生長腔室上設有一對視窗，這對視窗是分子束外延生長系統(tǒng)上激光入射光和出射光的高透明、對光低散射的視窗；原位磁光表征系統(tǒng)安裝在分子束外延生長系統(tǒng)的腔室上；原位磁光表征系統(tǒng)包含產(chǎn)生S型線偏振光的激光二極管、調節(jié)線偏振光的起偏偏振片，原位磁光表征系統(tǒng)包含對樣品表面反射回的橢偏光即出射光進行探測的檢偏器；所述起偏偏振片產(chǎn)生激光入射光射至樣品表面，所述檢偏器對出射光檢偏；原位磁光表征系統(tǒng)包含光電探測器，探測器將出射光的信號輸入到鎖相放大器；樣品臺側設有電磁鐵，電磁鐵的磁性由電磁鐵線圈的電流提供；樣品操縱桿與可傾斜的樣品臺固定。

2.根據(jù)權利要求1所述的分子束外延生長系統(tǒng)，其特征是偏振片、檢偏器、光電探測器既可以安裝在視窗的法蘭上或架在可調節(jié)的光學平臺上。

3.根據(jù)權利要求1所述的分子束外延生長系統(tǒng)，其特征是樣品操縱桿為三軸操縱桿。