[實用新型]平面度檢測治具

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201720004531.7
• 申請日: 2017-01-04
• 公開（公告）號: CN206339192U
• 公開（公告）日: 2017-07-18
• 發(fā)明（設計）人: 黃隆;蔡斯特;何紅超
• 申請（專利權）人: 合肥京東方光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: G01B5/28
• 分類號: G01B5/28
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司11243
• 代理人: 許靜,劉偉

1.一種平面度檢測治具，其特征在于，包括：

用于放置待檢測件的水平承載臺；

與所述水平承載臺連接，能夠升降所述水平承載臺的升降機構；

設置于所述水平承載臺的上方的探針放置板，所述探針放置板上放置有呈陣列排布的多個探針，每一探針包括用于與待檢測件的待檢測面接觸的第一端和與所述第一端相對的第二端，所述多個探針能夠在垂直于所述水平承載臺的方向上移動，而具有第一狀態(tài)和第二狀態(tài)，其中，在所述第一狀態(tài)，所述水平承載臺處于第一位置，各探針的第一端與待檢測件的待檢測面不接觸，且多個探針的第一端處于同一平面內；在所述第二狀態(tài)，所述水平承載臺上升至第二位置，各探針的第一端與所述待檢測件的待檢測面相接觸并上升預設高度；

以及，用于當所述多個探針在所述第二狀態(tài)時，檢測各探針的當前位置是否在預設位置上的檢測機構。

2.根據權利要求1所述的平面度檢測治具，其特征在于，

所述檢測機構包括：設置于所述多個探針的上方，并與處于所述第一狀態(tài)時所述探針放置板上的探針的第二端之間具有預設距離的第一觸發(fā)部，所述第一觸發(fā)部能夠在與探針的第二端接觸時產生第一觸發(fā)信號；其中所述預設距離大于所述預設高度。

3.根據權利要求2所述的平面度檢測治具，其特征在于，

所述第一觸發(fā)部包括：一能夠與所述探針接觸時產生第一電觸發(fā)信號的電測板，且所述電測板的面向所述探針放置板的一面為平面度達到預設值的平面結構；或者，所述第一觸發(fā)部包括：一能夠與所述探針接觸時產生光觸發(fā)信號的探針觸發(fā)光柵，且所述探針觸發(fā)光柵的面向所述探針放置板的一面為平面度達到預設值的平面結構。

4.根據權利要求2所述的平面度檢測治具，其特征在于，

所述平面度檢測治具還包括用于調整所述預設距離的調整部件，所述調整部件包括設置在所述探針放置板與所述第一觸發(fā)部之間的高度可調整的墊圈。

5.根據權利要求2所述的平面度檢測治具，其特征在于，

所述第一觸發(fā)部與所述探針放置板之間設置有用于使得所述第一觸發(fā)部與所述探針放置板之間絕緣的絕緣部件。

6.根據權利要求1所述的平面度檢測治具，其特征在于，

所述探針放置板上設有多個通孔，所述探針放置于所述通孔內；

所述探針的外周上在第一端和第二端之間設置有檢測部；

所述檢測機構包括：設置在所述通孔的內壁上的第二觸發(fā)部，其中在所述第一狀態(tài)時，所述第二觸發(fā)部與探針的檢測部的位置對應，并與所述檢測部接觸，而不發(fā)送觸發(fā)信號；在所述第二狀態(tài)時，所述第二觸發(fā)部與探針的檢測部接觸時發(fā)送第二觸發(fā)信號。

7.根據權利要求6所述的平面度檢測治具，其特征在于，

所述通孔的內壁上形成有第一支撐臺階；

在所述探針上形成與所述第一支撐臺階相配合的第二支撐臺階；

其中，所述檢測部包括所述探針的第二支撐臺階，所述第二觸發(fā)部包括所述通孔的第一支撐臺階。