[發明專利]一種用于清洗晶片的花籃及對晶片進行清洗的方法

在審

• 申請號: 201711497924.7
• 申請日: 2017-12-22
• 公開（公告）號: CN108063109A
• 公開（公告）日: 2018-05-22
• 發明（設計）人: 米洪龍;王琳;李小兵;梁建;關永莉
• 申請（專利權）人: 山西飛虹激光科技有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L21/02;H01L33/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于清洗晶片的花籃，其特征在于，包括：第一側板(1)和第二側板(2)；其中，所述第一側板(1)內側的兩端上分別設置有至少一個滑槽(3)，所述第二側板(2)內側的兩端上分別設置有與滑槽(3)相對應的滑塊(4)；所述第二側板(2)上的各個滑塊(4)分別插入到所述第一側板(1)相應的各個滑槽(3)中，形成具有內部空間的花籃，滑塊(4)可在滑槽(3)中滑動，以調節所述第一側板(1)和所述第二側板(2)之間的垂直距離；進一步包括：將滑塊(4)與滑槽(3)的滑動位置固定的固定件；所述第一側板(1)和所述第二側板(2)上均設置有若干個開槽(5)。

2.根據權利要求1所述花籃，其特征在于，所述第一側板(1)上與所述第二側板(2)上對應位置的開槽(5)寬度相同。

3.根據權利要求1所述花籃，其特征在于，開槽(5)的寬度為1.2mm～2.0mm。

4.根據權利要求1所述花籃，其特征在于，所述固定件為螺釘；滑槽(3)和滑塊(4)上設置有多個螺孔，在滑槽(3)和滑塊(4)上的螺孔對齊時，所述螺釘可穿過對齊的螺孔，以實現固定。

5.根據權利要求1所述花籃，其特征在于，進一步包括：提手(6)；

所述提手(6)包括：T型手柄(7)、第一卡接端(8)和第二卡接端(9)；其中，所述第一卡接端(8)卡接固定在所述第一側板(1)上，所述第二卡接端(9)卡接固定在所述第二側板(2)上，兩個卡接固定點之間的距離等于所述第一側板(1)和所述第二側板(2)之間的垂直距離；所述第一卡接端(8)、所述第二卡接端(9)分別固定在T型手柄(7)兩端，且固定位置可調，以調整所述兩個卡接固定點之間的距離。

6.根據權利要求1所述花籃，其特征在于，所述花籃底部鏤空；所述花籃進一步包括：分體底座(10)；所述分體底座上設置有若干個卡槽(11)；所述分體底座(10)可從所述花籃的鏤空底部穿過。

7.根據權利要求1所述花籃，其特征在于，

所述第一側板(1)的橫截面為倒梯形；

和/或，

所述第二側板(2)的橫截面為倒梯形。

8.根據權利要求1所述花籃，其特征在于，

所述第一側板(1)的下端設置有若干個小孔；

和/或，

所述第二側板(2)的下端設置有若干個小孔。

9.根據權利要求1-8中任一所述花籃，其特征在于，所述花籃采用的材質是聚四氟乙烯。

10.一種利用權利要求1-9中任一所述花籃對晶片進行清洗的方法，其特征在于，包括：

根據待清洗晶片的寬度，將滑塊在滑槽中進行滑動以調整第一側板和第二側板之間的距離，并利用固定件對調整后滑塊與滑槽的滑動位置進行固定；

根據所述待清洗晶片的厚度，將所述待清洗晶片的一端放置在所述第一側板上的一個開槽中，將晶片的另一端放置在所述第二側板上的一個開槽中；

對所述待清洗晶片進行清洗。