[發明專利]反射式激光光柵位移傳感器在審
| 申請號: | 201711496955.0 | 申請日: | 2017-12-31 |
| 公開(公告)號: | CN108007363A | 公開(公告)日: | 2018-05-08 |
| 發明(設計)人: | 杜金昌 | 申請(專利權)人: | 杜金昌 |
| 主分類號: | G01B11/02 | 分類號: | G01B11/02 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 611630 四川省成都市蒲江*** | 國省代碼: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 反射 激光 光柵 位移 傳感器 | ||
【權利要求書】:
1.反射式激光光柵位移傳感器,涉及一種位移傳感器,其特征在于,基本構造光路包含發散角小于0.3°的平行線偏振光源,偏振分光棱鏡,1/4波片,主光柵,副光柵,光電傳感器。
2.如權利要求1所述反射式激光光柵位移傳感器,其特征在于,平行線偏振光源與偏振分光棱鏡之間存在有偏光片。
3.如權利要求1所述反射式激光光柵位移傳感器,其特征在于,副光柵與光電傳感器之間存在有偏光片。
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