[發明專利]一種摻釩ZnO厚膜及其制備方法

在審

• 申請號: 201711494906.3
• 申請日: 2017-12-31
• 公開（公告）號: CN108231998A
• 公開（公告）日: 2018-06-29
• 發明（設計）人: 李俊紅;樊青青;李東寧
• 申請（專利權）人: 中國科學院聲學研究所
• 主分類號: H01L41/18
• 分類號: H01L41/18;H01L41/39;H01L41/41
• 代理公司: 北京億騰知識產權代理事務所 11309
• 代理人: 陳霽

1.一種摻釩ZnO厚膜的制備方法，其特征在于，所述制備方法包括：

S10、制備摻釩ZnO膠體；

S20、制備摻釩ZnO納米粉；

S30、將所述摻釩ZnO膠體和所述摻釩ZnO納米粉混合，形成摻釩ZnO混合漿料；

S40、將所述摻釩ZnO混合漿料和所述摻釩ZnO膠體按預設涂覆順序涂覆在基片上；

S50、對涂覆后的基片進行預處理；

S60、判斷制備的摻釩ZnO厚膜的厚度是否達到所需厚度，若否，則重復步驟S40和S50，直至獲得所需厚度的摻釩ZnO厚膜，若是，則執行步驟S70；

S70、對所述摻釩ZnO厚膜進行熱處理。

2.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述制備摻釩ZnO膠體，具體為：

將醋酸鋅和聚乙烯醇溶于去離子水，在加熱條件下，磁力攪拌回流0.5～2h，直至得到透明溶液；

冷卻到室溫，按摩爾比：V/(Zn+V)＝0.001～0.7加入偏釩酸銨，繼續攪拌待完全溶解后得到溶膠。

3.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述制備摻釩ZnO膠體，具體為：

硝酸鋅和甘氨酸溶于水，在加熱條件下，磁力攪拌回流0.5～2h，直至得到透明溶液；

冷卻到室溫，按摩爾比：V/(Zn+V)＝0.001～0.7加入偏釩酸銨，繼續攪拌待完全溶解后得到溶膠。

4.根據權利要求2所述的制備方法，其特征在于，所述加熱溫度為60～100℃。

5.根據權利要求3所述的制備方法，其特征在于，所述加熱溫度為60～100℃。

6.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述制備摻釩ZnO納米粉，具體為：高能機械球磨法、溶膠凝膠法、火焰噴霧熱解法、微乳液法、水熱法、化學沉淀法、固相化學反應法、熱分解法或化學氣相沉積法；其中，含釩量按照摩爾比為V/(Zn+V)＝0.001～0.7。

7.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述將所述摻釩ZnO膠體和所述摻釩ZnO納米粉混合，形成摻釩ZnO混合漿料，具體為：

按摻釩ZnO納米粉：摻釩ZnO膠體的摩爾比為x:1進行配比，其中，0≤x≤3；

將摻釩ZnO納米粉分散到摻釩ZnO膠體中，并加入穩定劑，攪拌、超聲分散；

用高能球磨機把以上混合漿料球磨，得到穩定的混合漿料。

8.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述熱處理具體為：

將所得的摻釩ZnO厚膜于500～800℃條件下，處理10min～5h，得到所需摻釩ZnO厚膜；其中，升溫速度為3-10℃/min，恒溫處理后隨爐冷卻；或者升溫速度為100-600℃/min，恒溫處理后快速取出。

9.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述預處理，具體為：

溫度為60～500℃，處理時間為5～30min。

10.根據權要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟S40中的，所述按預設涂覆順序，具體為：

先涂覆0-10次的摻釩ZnO膠體，然后在涂覆1-10次摻釩ZnO混合漿料，再涂覆0-10次摻釩ZnO膠體，然后再涂覆1-10次摻釩ZnO混合漿料，再涂覆0-10次摻釩ZnO膠體，重復循環，直到達到所需要的ZnO厚膜厚度。

11.一種摻釩ZnO厚膜，其特征在于，由如權利要求1-10任一權利要求所述的制備方法制備而成。