[發明專利]SC石英晶棒X光定向粘板機及其一次粘結定位方法

有效

• 申請號: 201711494804.1
• 申請日: 2017-12-31
• 公開（公告）號: CN107870175B
• 公開（公告）日: 2023-10-20
• 發明（設計）人: 趙桂紅;徐建民;鄭玉南
• 申請（專利權）人: 唐山國芯晶源電子有限公司
• 主分類號: G01N23/20
• 分類號: G01N23/20
• 代理公司: 唐山永和專利商標事務所 13103
• 代理人: 張云和

1.一種SC石英晶棒X光定向粘板機，包括粘板機臺面，粘板機臺面上設有粘板夾具組合；其特征在于：所述的粘板夾具組合的兩側分別設有第一X光射線管、第一計數管；粘板夾具組合的上方設有顯示板；粘板夾具組合頂部兩側分別設有第二X光射線管、第二計數管；粘板夾具組合設有旋轉工作臺，旋轉工作臺連接固定夾具大托板，夾具大托板作為其他部件的連接基礎，夾具大托板的中心處設置料板；料板通過滑動導軌與夾具大托板連接固定；料板的兩側均設置晶棒緊固夾具，料板一側的晶棒緊固夾具通過燕尾導軌座、燕尾滑塊與夾具大托板連接，燕尾導軌座、燕尾滑塊通過燕尾調節板調整位置；料板另一側的晶棒緊固夾具通過支撐滑塊、支撐導軌與夾具大托板連接固定，上下定位螺釘固定支撐滑塊的位置。

2.根據權利要求1所述的SC石英晶棒X光定向粘板機，其特征在于：所述的大托板在料板的一側設有料板基準彎板，料板基準彎板與滑動導軌共同限定料板。

3.根據權利要求1所述的SC石英晶棒X光定向粘板機，其特征在于：所述的支撐滑塊設有旋轉定位板，旋轉定位板對晶棒緊固夾具的固定位置進行限定。

4.根據權利要求1-3任意權利要求所述的SC石英晶棒X光定向粘板機的一次粘結定位方法，其特征在于，包括以下步驟：

（1）將晶棒緊固夾具、第一定位頂尖、第二定位頂尖和料板基準彎板均擦拭干凈，把料板輕輕放到粘板機的滑動導軌上，把一塊已去掉±X面扒皮的晶棒表面清潔；晶棒+X面向著標記方向，放入晶棒緊固夾具內固定好；另外將一塊墊板和料板先粘結好，放在一旁；

（2）輕輕調節4個緊固調整螺釘將晶棒的X面接觸到一次定向的第一定位頂尖，打開第一X光射線管的光閘，調節緊固調整螺釘，使μA表使峰值達到最大，關閉光閘，將4個緊固螺釘緊固好；

（3）將晶棒緊固夾具和緊固好晶棒通過旋轉工作臺一起轉動，首先將燕尾滑塊連著晶棒、晶棒緊固夾具與支撐滑塊輕輕向上移動，調節好其位置，然后緊固好上下定位螺釘；其次將旋轉銷軸手柄撤出，此時晶棒和晶棒緊固夾具可同時旋轉，慢慢旋轉機械式的分度盤使晶棒 Z面接觸到二次定向的第二定位頂尖，打開第二X光射線管的光閘，調節機械式的分度盤，使μA表使峰值達到最大，關閉光閘；

（4）將粘好的料板和墊板放在滑動導軌上，在墊板上抹上調好的粘結膠，向前推放到定向完成的晶棒下，將上下定位螺釘松開，將燕尾滑塊連著晶棒、晶棒緊固夾具與支撐滑塊慢慢向下滑動，使晶棒與墊板接觸，再向下移到合適位置的標識點處，之后再緊固下定位螺釘，保持一定的時間，使粘膠固化，松開晶棒緊固夾具上所有的緊固螺釘，將晶棒緊固夾具向上移動，將料板沿滑動導軋移出，整個粘結完成。