[發(fā)明專利]等離子體-質(zhì)譜分析系統(tǒng)及其工作方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201711490627.X
• 申請日: 2017-12-30
• 公開（公告）號: CN108152358A
• 公開（公告）日: 2018-06-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 俞曉峰;韓雙來;梁炎;徐岳
• 申請（專利權(quán)）人: 杭州譜育科技發(fā)展有限公司
• 主分類號: G01N27/62
• 分類號: G01N27/62;G01N27/64;H01J49/04;H01J49/10
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1.一種等離子體-質(zhì)譜分析系統(tǒng)，所述等離子體-質(zhì)譜分析系統(tǒng)包括質(zhì)譜分析儀；其特征在于：所述等離子體-質(zhì)譜分析系統(tǒng)進一步包括：

矩管，所述矩管的出口豎直向上；

取樣錐，所述取樣錐設(shè)置在所述矩管的離子出射方向上；

第一閥門，所述第一閥門設(shè)置在所述離子出射方向上，且處于所述取樣錐的下游；

離子偏轉(zhuǎn)單元，所述粒子偏轉(zhuǎn)單元設(shè)置在離子出射方向上，且處于第一閥門的下游，經(jīng)過所述離子偏轉(zhuǎn)單元后，離子偏轉(zhuǎn)角度α；

第二閥門，所述第二閥門設(shè)置在經(jīng)過所述離子偏轉(zhuǎn)單元偏轉(zhuǎn)后的離子方向上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子體-質(zhì)譜分析系統(tǒng)，其特征在于：所述第一閥門和/或第二閥門采用滑動閥。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子體-質(zhì)譜分析系統(tǒng)，其特征在于：所述取樣錐包括依次設(shè)置的第一取樣錐和第二取樣錐。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子體-質(zhì)譜分析系統(tǒng)，其特征在于：角度

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子體-質(zhì)譜分析系統(tǒng)，其特征在于：所述離子偏轉(zhuǎn)單元采用偏轉(zhuǎn)電場。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一所述的等離子體-質(zhì)譜分析系統(tǒng)的工作方法，所述工作方法為：

(A1)在所述聚光點燃等離子體且移動到設(shè)定位置后，所述第一閥門打開；

離子和中性粒子從所述矩管出射并豎直向上運動，依次穿過所述取樣錐和第一閥門后進入所述粒子偏轉(zhuǎn)單元，離子在所述離子偏轉(zhuǎn)單元內(nèi)發(fā)生偏轉(zhuǎn)，所述中性粒子按照原運動方向繼續(xù)向上運動；

(A2)在離子接口真空達到設(shè)定后，再打開所述第二閥門；

偏轉(zhuǎn)后的離子穿過所述第二閥門，進入下游；

(A3)矩管關(guān)閉，所述第一閥門和第二閥門關(guān)閉。