[發明專利]一種汽車用雪崩二極管的制造方法

在審

• 申請號: 201711490251.2
• 申請日: 2017-12-29
• 公開（公告）號: CN108565217A
• 公開（公告）日: 2018-09-21
• 發明（設計）人: 黃發良
• 申請（專利權）人: 黃山市弘泰電子有限公司
• 主分類號: H01L21/329
• 分類號: H01L21/329;H01L21/50
• 代理公司: 深圳市百瑞專利商標事務所(普通合伙) 44240
• 代理人: 李振泉;楊大慶

1.一種汽車用雪崩二極管的制造方法，其特征在于：包括如下步驟：

步驟(1)裝填與燒結：將銅引線、焊片、硅片、焊片、銅座自下而上依次疊放在加工模具內，然后送入真空燒結爐內燒結成半成品；

步驟(2)堿洗與清洗：待燒結完成后，將半成品自加工模具內取出后依次進行堿洗、一次熱水清洗、弱酸清洗、二次熱水清洗、超聲波清洗、純水沖洗；

步驟(3)烘干：將清洗后的半成品送入烘箱內烘干；

步驟(4)打膠：將經過步驟(3)一次烘干后的半成品進行打膠處理，膠選用聚醯亞胺；

步驟(5)膠高溫固化：將打膠后的半成品送入烘箱內，待膠烘烤完全固化后取出；

步驟(6)一次測試：測試二次烘干處理后的半成品的整體性能，合格的半成品轉入下一道工序，不合格的半成品轉入不合格半成品區；

步驟(7)灌封處理：在經一次測試判定為合格的半成品上套上塑料圈，然后灌注環氧樹脂；

步驟(8)灌封膠固化：將灌封處理后的半成品送入烘箱內烘烤固化；

步驟(9)二次測試：在高溫環境下，測試固化后的半成品的整體高溫漏電性能；并進行反向浪涌測試、熱疲勞測試；將測試合格的半成品定義為成品進入下一工序，不合格的半成品移至廢品區；

步驟(10)、將經二次測試判定合格的產品進行激光打標。

2.根據權利要求1所述的汽車用雪崩二極管的制造方法，其特征在于：步驟(1))裝填與燒結過程中，當裝好材料的加工模具送入真空燒結爐中時，進行第一次抽真空和第一次充氮氣，待真空燒結爐內的溫度上升至180℃時，進行第二次抽真空和第二次充氮氣，然后待真空燒結爐內的溫度上升至340℃后保持溫度燒結8～12分鐘后開始降溫，真空燒結爐內的溫度由常溫上升至340℃控制在1h內完成；降溫過程中，在溫度降至330℃、310℃、290℃時分別進行第三次抽真空充氮氣、第四次抽真空充氮氣、第五次抽真空充氮氣；上述五次抽真空充氮氣時，抽真空至-100kpa，充氮氣至80kp，氮氣純度為99.999；待溫度降至290℃后開始自然冷卻直至完全冷卻。

3.根據權利要求1所述的汽車用雪崩二極管的制造方法，其特征在于：步驟(2)堿洗與清洗過程中：堿洗時，堿洗液選用濃度20～30％的氫氧化鉀溶液，堿洗溫度80～100℃，堿洗時間30～40min；一次熱水清洗和二次熱水清洗，水溫60～80℃，時間3～5min；弱酸清洗選用5～10％的檸檬酸，清洗時間3～5min；超聲波清洗時，選用循環水清洗20～25min；純水沖洗時間8～10min。

4.根據權利要求1所述的汽車用雪崩二極管的制造方法，其特征在于：步驟(3)烘干時，烘箱溫度200℃，時間3～4h。

5.根據權利要求1所述的汽車用雪崩二極管的制造方法，其特征在于：步驟(5)膠高溫固化過程中，烘箱溫度在升至80℃、100℃、120℃、150℃、180℃時分別保持2h，烘箱溫度在升至210℃時保持4h，烘箱溫度在升至260℃時保持12h，后自然冷卻，上述烘箱溫度上升變化過程為連續不間斷過程。

6.根據權利1至5任意一項所述的汽車用雪崩二極管的制造方法，其特征在于：二次測試時，高溫環境的溫度為170℃，一次測試和二次測試時，半成品的整體性能測試包括VF、IR、DVZ1、DVZ2、VB測試；步驟(7)灌封處理中的環氧樹脂選用AB型高溫環氧樹脂。