[發(fā)明專利]一種多級(jí)復(fù)合高真空干泵

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711487620.2
• 申請(qǐng)日: 2017-12-29
• 公開（公告）號(hào): CN108105121B
• 公開（公告）日: 2020-03-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉坤;王展威;李昌龍;王光玉;張軍;段啟惠;巴要帥;巴德純
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東北大學(xué);中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)科學(xué)儀器股份有限公司
• 主分類號(hào): F04D25/06
• 分類號(hào): F04D25/06;F04D17/12;F04D29/30;F04D29/70;F04D29/42
• 代理公司: 北京易捷勝知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11613
• 代理人: 齊勝杰

1.一種多級(jí)復(fù)合高真空干泵，其特征在于，包括泵殼、內(nèi)置電機(jī)、牽引級(jí)轉(zhuǎn)子、牽引級(jí)定子、旋渦級(jí)轉(zhuǎn)子、旋渦級(jí)定子和兩個(gè)底座，其中，所述內(nèi)置電機(jī)設(shè)于所述泵殼的一側(cè)，所述牽引級(jí)轉(zhuǎn)子為圓套筒，固定設(shè)于所述內(nèi)置電機(jī)的主軸上，靠近所述內(nèi)置電機(jī)設(shè)置，與之對(duì)應(yīng)設(shè)置的所述牽引級(jí)定子為圓筒形，所述圓筒形上設(shè)有螺旋槽，所述旋渦級(jí)轉(zhuǎn)子靠近所述牽引級(jí)轉(zhuǎn)子通過軸套固定在電機(jī)主軸上，所述旋渦級(jí)定子對(duì)應(yīng)所述旋渦級(jí)轉(zhuǎn)子設(shè)置，所述旋渦級(jí)轉(zhuǎn)子設(shè)有三級(jí)或多級(jí)，所述三級(jí)或多級(jí)旋渦級(jí)轉(zhuǎn)子的葉片為T形、V形和C形中的三種組合，所述泵殼將所述內(nèi)置電機(jī)和牽引級(jí)定子包裹，在所述泵殼的上端，在所述牽引級(jí)轉(zhuǎn)子的前端設(shè)有進(jìn)氣口，從所述旋渦級(jí)轉(zhuǎn)子末端設(shè)有排氣口，所述兩個(gè)底座分別設(shè)于一側(cè)的所述泵殼的下端和另一側(cè)的所述旋渦級(jí)定子的下端；

所述T形是指各葉片間的肋板與葉片形成T形結(jié)構(gòu)；所述V形是指各葉片呈V字形，V形開口沿轉(zhuǎn)子外圓切向方向，所述C形是指各葉片呈C字形，C形開口沿轉(zhuǎn)子外圓切向方向；所述三級(jí)或多級(jí)旋渦級(jí)轉(zhuǎn)子的葉片從前端至末端依次按照T形，V形，C形的次序安裝。

2.如權(quán)利要求1所述的多級(jí)復(fù)合高真空干泵，其特征在于，所述牽引級(jí)轉(zhuǎn)子與所述牽引級(jí)定子為分體式結(jié)構(gòu)，所述牽引級(jí)轉(zhuǎn)子包括牽引級(jí)內(nèi)轉(zhuǎn)子、牽引級(jí)中間轉(zhuǎn)子以及牽引級(jí)外轉(zhuǎn)子，所述牽引級(jí)定子包括牽引級(jí)內(nèi)定子和牽引級(jí)外定子；其中，所述牽引級(jí)內(nèi)轉(zhuǎn)子固定于主軸上，所述牽引級(jí)中間轉(zhuǎn)子和牽引級(jí)外轉(zhuǎn)子與所述牽引級(jí)內(nèi)轉(zhuǎn)子過盈配合聯(lián)接形成內(nèi)、外套筒，所述牽引級(jí)內(nèi)定子和牽引級(jí)外定子固定在泵殼上，并套裝在所述內(nèi)、外套筒內(nèi)，所述牽引級(jí)內(nèi)定子和牽引級(jí)外定子的內(nèi)外表面均設(shè)有螺旋槽，在所述泵殼的內(nèi)表面對(duì)應(yīng)牽引級(jí)外定子部位設(shè)有螺旋槽。

3.如權(quán)利要求2所述的多級(jí)復(fù)合高真空干泵，其特征在于，所述螺旋槽的縱截面為矩形，所述螺旋槽為阿基米德螺旋線或圓弧線。

4.如權(quán)利要求1所述的多級(jí)復(fù)合高真空干泵，其特征在于，在所述泵殼上對(duì)應(yīng)所述內(nèi)置電機(jī)和/或牽引級(jí)定子的外側(cè)，設(shè)有冷凝管。

5.如權(quán)利要求1所述的多級(jí)復(fù)合高真空干泵，其特征在于，在所述旋渦級(jí)定子的外側(cè)設(shè)置有輔助排氣閥。

6.如權(quán)利要求1所述的多級(jí)復(fù)合高真空干泵，其特征在于，在所述旋渦級(jí)定子的中間上方設(shè)置氮?dú)獯祾唛y。

7.如權(quán)利要求1所述的多級(jí)復(fù)合高真空干泵，其特征在于，在所述主軸上，所述牽引級(jí)轉(zhuǎn)子的前端和旋渦級(jí)轉(zhuǎn)子的末端均設(shè)有復(fù)合式軸封，相對(duì)應(yīng)地，在所述復(fù)合式軸封的外側(cè)設(shè)有角接觸球軸承。

8.如權(quán)利要求1-7中任一項(xiàng)所述的多級(jí)復(fù)合高真空干泵，其特征在于，所述旋渦級(jí)定子的外側(cè)設(shè)有肋板。