[發明專利]一種非晶鈦酸鍶薄膜器件及其制備方法有效
| 申請號： | 201711474152.5 | 申請日： | 2017-12-29 |
| 公開（公告）號： | CN108232011B | 公開（公告）日： | 2021-09-03 |
| 發明（設計）人： | 湯卉;唐新桂;劉秋香;蔣艷平;張天富 | 申請（專利權）人： | 廣東工業大學 |
| 主分類號： | H01L45/00 | 分類號： | H01L45/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 趙青朵 |
| 地址： | 510006 廣東省*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 非晶鈦酸鍶 薄膜 器件 及其 制備 方法 | ||
1.一種非晶鈦酸鍶薄膜器件的制備方法，包括：
在基底表面旋涂底電極溶液后退火，形成底電極；
在所述底電極表面旋涂鈦酸鍶溶液后進行烘烤，形成鈦酸鍶薄膜；
將所述鈦酸鍶薄膜進行退火處理，形成非晶薄膜；
在所述非晶薄膜表面進行電子束蒸發濺射形成頂電極，得到非晶鈦酸鍶薄膜器件；
所述底電極為FTO；
所述鈦酸鍶薄膜的厚度為300nm；
所述退火的溫度為400℃，時間為12min；
所述頂電極為直徑為0.5mm的圓點狀金電極；
所述非晶鈦酸鍶薄膜器件應用于非易失性存儲，開關比為103。
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述鈦酸鍶溶液的濃度為0.25~0.3mol/L。
3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述鈦酸鍶溶液的制備方法為：
將鈦酸丁酯溶液滴加到硝酸鍶溶液中混合，得到鈦酸鍶溶液。
4.根據權利要求3所述的方法，其特征在于，所述鈦酸丁酯溶液的溶劑為乙酰丙酮；
所述硝酸鍶溶液的溶劑為乙二醇。
5.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述非晶鈦酸鍶薄膜的制備方法具體為：
在所述底電極表面先以第一速度旋涂第一時間的鈦酸鍶溶液，再以第二速度旋涂第二時間鈦酸鍶溶液；將旋涂鈦酸鍶溶液后的底電極先在第一溫度烘烤再在第二溫度烘烤，得到鈦酸鍶薄膜；
所述第一速度為800r/min；所述第一時間為15s；
所述第二速度為3000r/min；所述第二時間為20s；
所述第一溫度為180℃；所述第二溫度為300℃。
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