[發(fā)明專利]LTCC超快加工系統(tǒng)及其方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201711471017.5
• 申請日: 2017-12-29
• 公開（公告）號: CN108031992A
• 公開（公告）日: 2018-05-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 趙裕興;吳安定
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州德龍激光股份有限公司;江陰德力激光設(shè)備有限公司
• 主分類號: B23K26/382
• 分類號: B23K26/382;B23K26/062;B23K26/70
• 代理公司: 江蘇圣典律師事務(wù)所 32237
• 代理人: 王玉國

1.LTCC超快加工系統(tǒng)，其特征在于：依光路方向設(shè)置有：

激光器(A)，輸出光束；

第一反射單元，包含依光路方向布置的第一反射鏡(C1)，將從激光器(A)輸出的光束射入光束整形模組(B)；

光束整形模組(B)，對光束進(jìn)行擴(kuò)束并改變擴(kuò)束光斑的大小，且對擴(kuò)束之后激光光束進(jìn)行過濾；

衰減模組(D)，改變整形后激光光束的偏振態(tài)并將入射光分成平行方向和垂直方向的兩束光，包含偏振玻片(D1)和偏光立方體分光器(D2)，偏振玻片(D1)位于偏光立方體分光器(D2)入射光口，偏振玻片(D1)改變?nèi)肷涔馐钠駪B(tài)，調(diào)節(jié)光束中P偏光與S偏光的比例，偏光立方體分光器(D2)根據(jù)光的偏振態(tài)將光分成兩個互相垂直的方向出射，P偏光從平行方向出射，S偏光從垂直方向出射；

第二反射單元，包含依分光之后的水平光路方向依次布置的第二反射鏡(C2)、第三反射鏡(C3)和第四反射鏡(C4)，將分光后的水平方向光入射至第一掃描單元；

第一掃描單元，將第二反射單元反射的光束進(jìn)行聚焦，包含依光路方向依次布置的振鏡(E1)和場鏡(F1)，分光后的水平方向的P偏光光經(jīng)第二反射單元射到振鏡(E1)的鏡片上，由場鏡(F1)聚焦至加工對象上；

第三反射單元，包含依分光之后的垂直光路方向依次布置的第五反射鏡(C5)和第六反射鏡(C6)，將分光后的垂直方向的S偏光入射至第二掃描單元；

第二掃描單元，將第三反射單元反射的光束進(jìn)行聚焦，包含依光路方向依次布置的振鏡(E2)和場鏡(F2)，分光后的垂直方向光經(jīng)第三反射單元射到振鏡(E2)的鏡片上，由場鏡(F2)聚焦至加工對象上；

加工平臺(G)，用于放置加工材料。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的LTCC超快加工系統(tǒng)，其特征在于：所述激光器(A)為窄脈寬超快皮秒激光器。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的LTCC超快加工系統(tǒng)，其特征在于：所述激光器(A)出射端光路上設(shè)有控制開關(guān)光的光閘。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的LTCC超快加工系統(tǒng)，其特征在于：所述光束整形模組(B)包含擴(kuò)束鏡(B1)和濾光片(B2)，擴(kuò)束鏡(B1)采用反向放置布置于光路上，對光束進(jìn)行擴(kuò)束并改變擴(kuò)束光斑的大小，濾光片(B2)布置于擴(kuò)束鏡(B1)之后，對擴(kuò)束之后激光光束進(jìn)行過濾。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的LTCC超快加工系統(tǒng)，其特征在于：所述第一掃描單元的振鏡(E1)為入光口孔徑14mm的振鏡。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的LTCC超快加工系統(tǒng)，其特征在于：所述第二掃描單元的振鏡(E2)為入光口孔徑14mm的振鏡。

7.權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)LTCC超快加工方法，其特征在于：

激光器(A)輸出的光經(jīng)過第一反射單元的第一反射鏡(C1)反射后進(jìn)入光束整形模組(B)；

光束進(jìn)入整形模組(B)進(jìn)行擴(kuò)束和過濾，整形后的光束直接射入衰減模組(D)；

衰減模組(D)的偏振玻片(D1)改變?nèi)肷涞剿p模組的光束的偏振態(tài)，偏振玻片(D1)可調(diào)節(jié)光束中P偏光與S偏光的比例，偏振之后的光束進(jìn)入衰減模組的偏光立方體分光器(D2)，偏光立方體分光器(D2)根據(jù)光的偏振態(tài)將光分成兩個互相垂直的方向出射，P偏光從平行方向出射，S偏光從垂直方向出射；

從衰減模組(D)出射的水平方向的光束，經(jīng)第二反射單元的第二反射鏡(C2)、第三反射鏡(C3)和第四反射鏡(C4)反射后進(jìn)入第一掃描單元；光束經(jīng)第一掃描單元的場鏡(F1)聚焦之后由振鏡(E1)配合相應(yīng)的圖紙對加工平臺(G)上的材料進(jìn)行加工；

從衰減模組(D)出射的垂直方向的光束，經(jīng)第三反射單元的第五反射鏡(C5)和第六反射鏡(C6)反射后進(jìn)入第二掃描單元；光束經(jīng)過第二掃描單元的場鏡(F2)聚焦之后由振鏡(E1)配合相應(yīng)的圖紙對加工平臺(G)上的材料進(jìn)行加工。