[發(fā)明專利]一種可調(diào)超高加速度宏微運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711470230.4
• 申請(qǐng)日: 2017-12-29
• 公開（公告）號(hào): CN107971765B
• 公開（公告）日: 2023-06-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張璐凡;田海龍;李勤良;馮偉;陳晨;楊麗彥;李雪麗
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 河南工業(yè)大學(xué)
• 主分類號(hào): B23Q1/25
• 分類號(hào): B23Q1/25;B23Q5/28;B23Q11/00
• 代理公司: 河南豫龍律師事務(wù)所 41177
• 代理人: 游國(guó)戰(zhàn)

1.一種可調(diào)超高加速度宏微運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于：包括基座、設(shè)置在基座上的宏微運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，宏微運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的左右兩側(cè)分別連接有直線電機(jī)組，宏微運(yùn)動(dòng)平臺(tái)左右兩側(cè)的直線電機(jī)組結(jié)構(gòu)相同，所述宏微運(yùn)動(dòng)平臺(tái)一側(cè)的直線電機(jī)組包括多個(gè)直線電機(jī)，所述的直線電機(jī)為音圈電機(jī)，直線電機(jī)之間設(shè)置有臂桿，臂桿將直線電機(jī)連接成一體，每個(gè)直線電機(jī)均安裝在一個(gè)減振平臺(tái)上，每個(gè)減振平臺(tái)的下部均與基座相連接，所述的減振平臺(tái)包括下底座、上底座和減振模塊，所述的下底座固定在基座上，下底座的上表面上設(shè)置有多列相互平行的導(dǎo)軌，導(dǎo)軌的走向與直線電機(jī)的運(yùn)動(dòng)方向相同，直線電機(jī)組的兩端分別設(shè)置有一個(gè)擋板，擋板的下端固定在下底座的上表面上，所述的上底座的下表面上設(shè)置有有多列相互平行的滑塊，滑塊放置在導(dǎo)軌上，滑塊與導(dǎo)軌之間組成滑動(dòng)副，每個(gè)上底座上設(shè)置有導(dǎo)孔，所述上底座上的導(dǎo)孔為兩列，兩列導(dǎo)孔相互平行,上底座之間的導(dǎo)孔內(nèi)設(shè)置有一根導(dǎo)柱，導(dǎo)柱的兩端分別與下底座兩端的擋板相連接，所述的減振模塊包括U形的導(dǎo)桿鎖、導(dǎo)桿、小滑塊、彈性元件和阻尼，所述的導(dǎo)桿的兩端分別與導(dǎo)桿鎖相連接，所述的小滑塊上設(shè)置有通孔，導(dǎo)桿從小滑塊上的通孔內(nèi)穿過(guò)，導(dǎo)桿鎖和小滑塊之間的導(dǎo)桿外圓面上套裝有彈性元件，導(dǎo)桿鎖和小滑塊之間還設(shè)置有阻尼，所述的導(dǎo)桿鎖、小滑塊分別與下底座、上底座相連接；

所述的宏微運(yùn)動(dòng)平臺(tái)包括底座，中間平臺(tái)和定位平臺(tái)，所述底座的下部與基座相連接，底座的上表面與中間平臺(tái)的下表面之間設(shè)置有滑軌副，滑軌副的運(yùn)動(dòng)方向與直線電機(jī)的運(yùn)動(dòng)方向相同，中間平臺(tái)的左右兩個(gè)端面上設(shè)置有凸臺(tái)，所述的凸臺(tái)與臂桿相連接，所述的定位平臺(tái)的中部設(shè)置有孔洞，孔洞內(nèi)設(shè)置有柔性平臺(tái)，柔性平臺(tái)的端面與定位平臺(tái)孔洞的內(nèi)表面之間通過(guò)多個(gè)連接條柔性連接，柔性平臺(tái)與定位平臺(tái)之間設(shè)置有壓電制動(dòng)器，柔性平臺(tái)與中間平臺(tái)的上表面固定連接；宏微運(yùn)動(dòng)平臺(tái)還包括光柵尺和讀數(shù)頭，所述的光柵尺、讀數(shù)頭分別安裝在定位平臺(tái)、底座的前側(cè)面或者后側(cè)面上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可調(diào)超高加速度宏微運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于：所述的臂桿包括U型臂桿和桿狀臂桿，U型臂桿包括橫梁和與橫梁的兩端相連接的水平梁，橫梁與中間平臺(tái)端面上的凸臺(tái)相連接，U型臂桿的兩根水平梁分別與直線電機(jī)兩側(cè)的桿狀臂桿相連接，桿狀臂桿之間首尾相連接，桿狀臂桿的側(cè)面與直線電機(jī)相連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可調(diào)超高加速度宏微運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于：所述的光柵尺安裝在定位平臺(tái)的前側(cè)面上，讀數(shù)頭安裝在底座的前側(cè)面上，讀數(shù)頭位于光柵尺的前方。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可調(diào)超高加速度宏微運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于：基座上表面與中間平臺(tái)下表面之間的滑軌副接觸面為豎直面。