[發明專利]物鏡畸變檢測方法及裝置

有效

• 申請號: 201711465897.5
• 申請日: 2017-12-28
• 公開（公告）號: CN109974977B
• 公開（公告）日: 2021-01-15
• 發明（設計）人: 陳新東;張鑫;楊旺;苗亮;曹艷波;孫志遠
• 申請（專利權）人: 長春長光華大智造測序設備有限公司
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 深圳鼎合誠知識產權代理有限公司 44281
• 代理人: 廖金暉;彭家恩

1.一種物鏡畸變檢測裝置，其特征在于，包括：

用于發射激光的激光照明組件；

標記靶，其可調節的安裝在所述激光照明組件發射光的光路上，在靶面上設有陣列的并與被測物鏡待檢測視場對應的標記孔；

二元光學組件，其可調節的安裝在所述標記靶出射光的光路上，并與所述標記靶之間具有用于放置被測物鏡的空間；所述二元光學組件上設有若干個補償區，若干個所述補償區可分別調節至與被測物鏡的不同視場對應，所述補償區用于將被測物鏡不同視場的出射光補償至平行光出射；

波前探測器，其可調節的安裝在所述二元光學組件出射光的光路上，用于接受所述二元光學組件的出射光，及生成用于計算物鏡視場畸變的探測信息。

2.如權利要求1所述的物鏡畸變檢測裝置，其特征在于，若干個所述補償區中一個為與被測物鏡中心視場對應的零補償區，其他為與被測物鏡不同軸外視場對應的角度補償區。

3.如權利要求2所述的物鏡畸變檢測裝置，其特征在于，所述二元光學組件為可移動安裝的圓盤形結構或方形結構，所述補償區具有二元光學特征。

4.如權利要求1所述的物鏡畸變檢測裝置，其特征在于，所述激光照明組件可擺動和可移動的設置，用于調節出射光的角度及與所述標記靶的距離，以實現對所述標記靶的均勻照明。

5.如權利要求4所述的物鏡畸變檢測裝置，其特征在于，所述標記靶可擺動和可移動的設置，用于調節與被測物鏡對焦。

6.如權利要求5所述的物鏡畸變檢測裝置，其特征在于，還包括支撐調節裝置，所述光照明組件、標記靶、二元光學組件和波前探測器依次排列安裝在所述支撐調節板裝置，所述支撐調節裝置在安裝標記靶和二元光學組件之間的位置設有用于夾持被測物鏡的夾持部，所述支撐調節裝置用于分別驅動光照明組件、標記靶、二元光學組件和波前探測器調節位置。

7.如權利要求6所述的物鏡畸變檢測裝置，其特征在于，所述光照明組件、標記靶、二元光學組件和波前探測器豎直安裝在所述支撐調節裝置上，所述支撐調節裝置上的夾持部用于裝夾豎直放置的被測物鏡；

或者，所述光照明組件、標記靶、二元光學組件和波前探測器水平安裝在所述支撐調節裝置上，所述支撐調節裝置上的夾持部用于裝夾水平放置的被測物鏡。

8.如權利要求6所述的物鏡畸變檢測裝置，其特征在于，還包括控制器，所述控制器包括處理單元和控制單元；所述處理單元與所述波前探測器電性連接，用于獲取所述波前探測器生成的探測信息及計算物鏡不同視場的畸變；所述控制單元與所述激光照明組件和支撐調節裝置電性連接，用于控制激光照明組件發射激光及控制支撐調節裝置分別驅動光照明組件、標記靶、二元光學組件和波前探測器調節位置。

9.一種基于權利要求1至8任一項所述的物鏡畸變檢測裝置的物鏡畸變檢測方法，其特征在于，包括如下步驟：

S001：將被測物鏡安裝在標記靶和二元光學組件之間，調節標記靶至被測物鏡的焦面，調節二元光學組件的零補償區對應被測物鏡的中心視場，及調節波前探測器與二元光學組件相對，并調節激光照明組件與標記靶之間的間距；

S002：使激光照明組件發射激光，激光先后穿過標記靶的標記孔、被測物鏡和二元光學組件的零補償區照射至波前探測器，波前探測器記錄初始角度值A₀；

S003：切換二元光學組件上一個角度補償區面向被測物鏡的對應視場，并調節波前探測器與二元光學組件相對；

S004：使激光照明組件發射激光，激光先后穿過標記靶的標記孔、被測物鏡和二元光學組件的角度補償區照射至波前探測器，波前探測器記錄偏差角度值A_i；

S005：根據初始角度值A₀和偏差角度值A_i計算出被測物鏡與角度補償區對應視場的畸變。

10.如權利要求9所述的物鏡畸變檢測方法，其特征在于，逐步切換二元光學組件上的所有角度補償區分別與被測物鏡的不同視場相對，以實現對被測物鏡所有視場畸變的檢測；

通過下式計算被測物鏡的視場畸變：

Distortion(A_i) = f *[tan(A_i)-tan(A₀)]/D₀

其中，f為被測物鏡的焦距，D₀為標記靶上標記孔之間的間距，A₀為初始角度值，A_i為偏差角度值。