[發(fā)明專利]電容器在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201711464230.3 | 申請(qǐng)日： | 2017-12-28 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN108198802A | 公開（公告）日： | 2018-06-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 張寧;葉立 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號(hào)： | H01L23/58 | 分類號(hào)： | H01L23/58;H01L23/64 |
| 代理公司： | 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 極板 導(dǎo)電層 寄生電容 電容器 襯底 極板連接 電極層 模數(shù)轉(zhuǎn)換器 參考電壓 叉指結(jié)構(gòu) 共模電壓 交錯(cuò)排布 線性度 相鄰層 減小 | ||
1.一種電容器，其特征在于，所述電容器包括：
襯底；
至少一層電極層，位于所述襯底上，所述電極層包括：第一極板和第二極板，所述第一極板和所述第二極板均呈叉指結(jié)構(gòu)且相對(duì)交錯(cuò)排布，所述第一極板用于連接共模電壓，所述第二極板用于連接參考電壓；
導(dǎo)電層，位于所述襯底上，所述導(dǎo)電層能夠與所述第一極板產(chǎn)生寄生電容，且所述導(dǎo)電層與所述第二極板連接。
2.如權(quán)利要求1所述的電容器，其特征在于，所述導(dǎo)電層的數(shù)量為多層，所述電極層的上方和下方均至少形成有一層所述導(dǎo)電層，并且所述導(dǎo)電層至少部分對(duì)著所述第一極板。
3.如權(quán)利要求2所述的電容器，其特征在于，所述電極層的數(shù)量為n層，所述導(dǎo)電層的數(shù)量至少為n+1層，其中，n為自然數(shù)。
4.如權(quán)利要求2所述的電容器，其特征在于，所述導(dǎo)電層呈叉指結(jié)構(gòu)，所述導(dǎo)電層的叉指數(shù)量與所述第一極板的叉指數(shù)量相同，所述導(dǎo)電層與所述第一極板正對(duì)。
5.如權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的電容器，其特征在于，所述電容器還包括連接孔，所述導(dǎo)電層通過所述連接孔與所述第二極板連接。
6.如權(quán)利要求5所述的電容器，其特征在于，所述連接孔的數(shù)量為多個(gè)。
7.如權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的電容器，其特征在于，所述導(dǎo)電層的材料選自金屬或者多晶硅。
8.如權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的電容器，其特征在于，所述電極層的材料選自金屬。
9.如權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的電容器，其特征在于，所述電容器還包括：
第一絕緣層，所述第一絕緣層位于所述襯底上，所述電極層位于所述第一絕緣層中；
第二絕緣層，所述第二絕緣層位于所述襯底上，所述導(dǎo)電層位于所述第二絕緣層中，且所述導(dǎo)電層通過所述第二絕緣層或者所述第一絕緣層與所述電極層絕緣。
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