[發(fā)明專利]一種金屬納米網(wǎng)絡(luò)柔性玻璃的加工方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711463432.6
• 申請(qǐng)日: 2017-12-28
• 公開（公告）號(hào): CN108179392B
• 公開（公告）日: 2019-08-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 彭壽;仲召進(jìn);馬立云;崔介東;操芳芳;王萍萍;高強(qiáng);趙鳳陽(yáng);曹欣;單傳麗;石麗芬;王巍巍;倪嘉;韓娜
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中建材蚌埠玻璃工業(yè)設(shè)計(jì)研究院有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/35
• 分類號(hào): C23C14/35;C23C14/08;C23C14/14;H01L21/306
• 代理公司: 安徽省蚌埠博源專利商標(biāo)事務(wù)所 34113
• 代理人: 尹杰

1.一種金屬納米網(wǎng)絡(luò)柔性玻璃的加工方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1、采用磁控濺射法，以硅片為襯底，在硅片上制備SiO₂薄膜作為犧牲層；

S2、采用磁控濺射法，在犧牲層上制備GZO薄膜、AZO薄膜或ZnO薄膜作為遮蓋層；

S3、采用濕法刻蝕法，在遮蓋層上滴加稀HNO₃，腐蝕遮蓋層得到顆粒間的裂縫并增寬裂縫；

S4、采用濕法刻蝕法，在S3腐蝕完成后再滴加HF，腐蝕顆粒間裂縫下面的SiO₂薄膜；

S5、S4完成后將硅片置于磁控濺射腔室內(nèi)，濺射生長(zhǎng)出厚度為150～200nm的Ag金屬薄膜；

S6、采用濕法剝離法， S5完成后復(fù)合薄膜使用稀HCl浸泡處理，去除遮蓋層；

S7、采用濕法剝離法，S6完成后復(fù)合薄膜使用HF浸泡處理，去除犧牲層SiO₂薄膜，得到具有晶粒生長(zhǎng)網(wǎng)絡(luò)形狀的金屬Ag納米網(wǎng)絡(luò)；

S8、采用熱壓印方法，將S7得到的Ag納米網(wǎng)絡(luò)連續(xù)化無損轉(zhuǎn)移至薄膜太陽(yáng)能電池玻璃基板，得到電子信息顯示用玻璃。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種金屬納米網(wǎng)絡(luò)柔性玻璃的加工方法，其特征在于：所述S1中的硅片采用硅陶瓷，磁控濺射時(shí)，采用Ar離子作為濺射氣體，O₂作為反應(yīng)氣體，射頻電源作用于陰極，濺射功率為220-280W，工作壓強(qiáng)為0 .4-0 .6Pa，靶電壓為85-95V，襯底與靶材的間距為65-75mm，制備得到厚度為280-320nm的SiO2薄膜。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種金屬納米網(wǎng)絡(luò)柔性玻璃的加工方法，其特征在于：所述濺射功率為250W，工作壓強(qiáng)為0 .5Pa，靶電壓為87V，襯底與靶材的間距為70mm，制備SiO₂薄膜的厚度為300nm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種金屬納米網(wǎng)絡(luò)柔性玻璃的加工方法，其特征在于：所述S2中采用GZO/AZO/ZnO陶瓷靶材，磁控濺射時(shí)，采用Ar離子作為濺射氣體，直流電源作用于陰極，濺射功率為300～400W，工作壓強(qiáng)為0 .1-0 .4Pa，靶電壓為419～468V，襯底與靶材的間距為60-80mm，制備GZO薄膜、AZO薄膜或ZnO薄膜的厚度為450-550nm。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種金屬納米網(wǎng)絡(luò)柔性玻璃的加工方法，其特征在于：所述濺射功率為350W，工作壓強(qiáng)為0 .2Pa，靶電壓為450V，襯底與靶材的間距為70mm，制備GZO薄膜、AZO薄膜或ZnO薄膜的厚度為500nm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種金屬納米網(wǎng)絡(luò)柔性玻璃的加工方法，其特征在于：所述S5中采用Ag金屬靶材，用Ar離子做為濺射氣體，以射頻電源作用于陰極，工作壓強(qiáng)為0 .3-0.4Pa，濺射功率為100W～200W，靶電壓為54～78V。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種金屬納米網(wǎng)絡(luò)柔性玻璃的加工方法，其特征在于：所述S5中濺射的工藝參數(shù)為：工作壓強(qiáng)為0 .35Pa，濺射功率為150W，靶電壓為65V，濺射生長(zhǎng)出Ag金屬薄膜的厚度為180nm。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種金屬納米網(wǎng)絡(luò)柔性玻璃的加工方法，其特征在于：所述S8將涂有EVA光學(xué)膠厚度為1mm的PET柔性透明基底加熱至60℃，用熱壓印方法將硅片上的金屬納米網(wǎng)絡(luò)連續(xù)化無損轉(zhuǎn)移至PET上，得到金屬納米網(wǎng)絡(luò)透明導(dǎo)電玻璃。