[發(fā)明專利]用于基板檢測(cè)的氣管接頭及量測(cè)系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711463254.7
• 申請(qǐng)日: 2017-12-28
• 公開（公告）號(hào): CN108180830B
• 公開（公告）日: 2019-12-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 史凱
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 武漢華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G01B11/00
• 分類號(hào): G01B11/00;G01N21/01
• 代理公司: 44304 深圳市銘粵知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 孫偉峰;陽(yáng)志全

1.一種用于基板檢測(cè)的氣管接頭，其特征在于，包括中空的管體(10)和光源(20)、反射鏡(30)，所述管體(10)包括相互彎折并連通的第一管體(11)和第二管體(12)，所述第一管體(11)和所述第二管體(12)的自由端分別為用于連接進(jìn)氣管(A)的進(jìn)氣端和供氣體排出的出氣端，所述光源(20)固定在所述管體(10)內(nèi)，所述光源(20)發(fā)出的光線自所述出氣端射出；所述反射鏡(30)設(shè)置在所述管體(10)內(nèi)、所述第一管體(11)和所述第二管體(12)連接形成的角部，且反射面同時(shí)朝向所述進(jìn)氣端和出氣端，用于將自所述光源(20)射出的光線朝所述出氣端反射出；所述第一管體(11)和所述第二管體(12)的相交處開設(shè)有通孔，所述光源(20)的發(fā)光端嵌設(shè)于所述通孔內(nèi)，并朝向所述反射鏡(30)的反射面。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于基板檢測(cè)的氣管接頭，其特征在于，所述光源(20)為L(zhǎng)ED光源。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于基板檢測(cè)的氣管接頭，其特征在于，所述反射鏡(30)的反射面為內(nèi)凹的弧面或傾斜的平面。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一所述的用于基板檢測(cè)的氣管接頭，其特征在于，所述光源(20)包括燈珠(21)、熱沉(22)和多片散熱鰭片(23)，所述熱沉(22)固定在所述燈珠(21)尾部，所述散熱鰭片(23)間隔地設(shè)置在所述熱沉(22)端部；所述燈珠(21)嵌設(shè)于所述通孔內(nèi)，所述散熱鰭片(23)延伸至所述管體(10)外。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一所述的用于基板檢測(cè)的氣管接頭，其特征在于，還包括密封圈(40)，所述第一管體(11)內(nèi)表面凸設(shè)有一圈阻擋部(10a)，所述密封圈(40)彈性貼合于所述第一管體(11)的內(nèi)壁，并位于所述阻擋部(10a)與所述進(jìn)氣端之間。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一所述的用于基板檢測(cè)的氣管接頭，其特征在于，還包括用于與進(jìn)氣管(A)彈性接觸的一圈彈性簧片(50)，所述彈性簧片(50)固定在所述第一管體(11)內(nèi)表面，并靠近所述進(jìn)氣端。

7.一種用于基板檢測(cè)的量測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，包括用于放置基板(P)的透明的載臺(tái)(1)、設(shè)于所述載臺(tái)(1)下方的照明光源(2)、設(shè)于所述載臺(tái)(1)上方并正對(duì)所述照明光源(2)的用于生成量測(cè)圖像的量測(cè)裝置(3)以及權(quán)利要求1-6任一所述的用于基板檢測(cè)的氣管接頭，所述第二管體(12)自底部穿設(shè)并固定于所述載臺(tái)(1)內(nèi)，且所述出氣端朝向所述量測(cè)裝置(3)。